Wyniki wyszukiwania - Biblioteka Nauki

Nowa wersja platformy, zawierająca wyłącznie zasoby pełnotekstowe, jest już dostępna.
Przejdź na https://bibliotekanauki.pl

Ograniczanie wyników

1 2005

Znaleziono wyników: 1

Liczba wyników na stronie

Wyniki wyszukiwania

Sortuj według:

Ogranicz wyniki do:

Zastosowanie próżniowych pomp turbomolekularnych w procesach nanoszenia cienkich warstw

100%

Kajoch A. , Kątowski P.

Inżynieria Powierzchni

2005

tom Nr 2

66-68

W artykule przedstawiono dwa najczęściej spotykane systemy pomp próżniowych stosowanych w przemysłowych i laboratoryjnych urządzeniach do nanoszenia cienkich warstw. Porównanie rozwiązań opartych na dwóch różnych typach pomp wskazuje zalety urządzeń z zastosowaniem pomp turbomolekularnych w porównaniu z dotychczas stosowanymi powszechnie pompami dyfuzyjnymi.

General overview of two main vacuum pumping systems used in industrial and laboratory thin coating processes are presented in the paper. Two solutions based on different types of high vacuum pumps are compared showing some advantages of turbopumps over commonly used oil diffusion pumps.