Wyniki wyszukiwania - Biblioteka Nauki

Ten serwis zostanie wyłączony 2025-02-11.

Nowa wersja platformy, zawierająca wyłącznie zasoby pełnotekstowe, jest już dostępna.
Przejdź na https://bibliotekanauki.pl

Ograniczanie wyników

1 Problemy Eksploatacji

1 2006

Znaleziono wyników: 1

Liczba wyników na stronie

Wyniki wyszukiwania

Sortuj według:

Ogranicz wyniki do:

Confocal techniques for surface profile measurements - methodology and instrumentation

100%

Galas J. , Litwin D. , Kozłowski T. , Sitarek S. , Błocki N.

tom nr 4

105-113

A surface profile measurement system for scanning the area of 100 mm x 100 mm with the lateral accuracy of 0.1 žm and height accuracy of 50 nm is presented. A confocal element has been used as a measurement head. This paper describes the methodology and the instrumentation including the calibration procedure and a discussion of accuracy.

Opracowany i wykonany został system do pomiaru kształtu powierzchni umożliwiający skaning powierzchni w płaszczyźnie XY w zakresie 100x100 mm z dokładnością 0.1 žm oraz pomiar współrzędnej Z w zakresie 0-100 mm z dokładnością 50 nm. Jako element pomiarowy współrzędnej Z zastosowano sensor konfokalny. W artykule opisano zasadę pomiaru, opisano system pomiarowy, metody kalibracji oraz uzyskane dokładności.