Czasopismo
Tytuł artykułu
Autorzy
Wybrane pełne teksty z tego czasopisma
Warianty tytułu
Modular technological chamber for performing the PVD processes
Języki publikacji
Abstrakty
The article presents a model technical solution for modular vacuum chamber and a technological instrumentation for different experimental performance of PVD (Physical Vapour Deposition) coating processes with use of thin surface layers. A structure of the research stand is presented with main construction elements. Reconfiguration of the effector and control modules allows performing a research and development of introducing novelty technologies for physical deposition of coating from the gas phase. All those configuration possibilities allow performing the technological processes with use of arc and magentron sources. A developed chamber structure includes different connection ports and allows performing an analysis of the pyrometric measurement of temperatures processes and spectral analysis of the deposited layers in situ composition. The chamber uses novelty solution for protection of the AEGD (Arc-Enhanced Glow Discharge) electrode against harmful deposition of the products of PVD. A similar solution is used to protect materials against evaporation and impurities among substances in the plasma stream.
Czasopismo
Rocznik
Tom
Strony
16-18
Opis fizyczny
Bibliogr. 6 poz., rys.
Twórcy
autor
autor
autor
- Instytut Technologii Eksploatacji - Państwowy Instytut Badawczy, Radom
Bibliografia
- 1. Kozioł S., Samborski Т., Brudnias R., Smolik J., Walkowicz J.: Nowoczesne konstrukcje komór próżniowych dla technologii PVD. Problemy Eksploatacji, nr 3/2004.
- 2. Burakowski Т., Wierzchoń Т.: Inżynieria powierzchni metali - podstawy, urządzenia, technologie. WNT, Warszawa 1995.
- 3. Samborski Т., Kozioł S., Matecki K.: System wymiany i pozycjonowania podłoży w urządzeniach PVD/CVD. Problemy Eksploatacji, nr 2/2008.
- 4. Przybylski J., Majcher Α.: Modułowe stanowisko badawcze do procesów PVD pozwalające na wdrażanie nowatorskich technologii inżynierii powierzchni. Problemy Eksploatacji, nr 3/2011.
- 5. Mazurkiewicz Α.: Nanonauki i nanotechnologie -stan i perspektywy rozwoju. ITeE-PIB, 2007.
- 6. Miernik K., Walkowicz J., Smolik J., Bujak J., Brudnias R., Słomka Z.: Budowa i działanie wieloźródłowego urządzenia do nakładania powłok metodami PVD. Problemy Eksploatacji, nr 4/2000.
Typ dokumentu
Bibliografia
Identyfikatory
Identyfikator YADDA
bwmeta1.element.baztech-article-BOS5-0029-0028