Osadzanie cienkich warstw laserem pulsacyjnym

• Autorzy: Major, B. , Wołczyński, W. , Ordon, J. , Ebner, R. , Kusiński, J.

Warianty tytułu

EN

Deposition of thin layers using pulsed laser

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Koncepcja osadzania laserem pulsacyjnym (pulsed laser deposition PLD) jest prosta i sądzi się nawet, iż jest najprostszą wśród technik otrzymywania cienkich warstw. Wiązka promieniowania laserowego pada na tarczę z materiału, który chcemy osadzić, powodując jej odparowanie, a cząstki wysokoenergetyczne osadzają się na podkładce. [...]

EN

Interest in pulsed laser deposition (PLD) as a technique to deposit thin films of complex material is growing exponentially. The success PLD has bad in the deposition of a wide variaty of materials bas spurred activity worldwide. The reason for this interest is that virtually any material, from pure elements to multicomponent compounds can be deposited. The stochiometry of the charge material is reproduced in the film. [...]

Słowa kluczowe

PL

osadzanie cienkich warstw; laser pulsacyjny; materiałoznawstwo

EN

thin film deposition; pulsed laser deposition; materials science

• Czasopismo: Krzepnięcie Metali i Stopów
• Rocznik: 1998
• Tom: nr 36
• Strony: 191--199
• Opis fizyczny: Bibliogr. 4 poz., rys., wykr.

Twórcy

autor

Major, B.

• Instytut Metalurgii i Inżynierii Materiałowej PAN, ul. Reymonta 25, 30-059 Kraków

autor

Wołczyński, W.

• Instytut Metalurgii i Inżynierii Materiałowej PAN, ul. Reymonta 25, 30-059 Kraków

autor

Ordon, J.

• Instytut Metalurgii i Inżynierii Materiałowej PAN, ul. Reymonta 25, 30-059 Kraków

autor

Ebner, R.

• Montanuniversitat Leoben, Austria

autor

Kusiński, J.

• Akademia Górniczo-Hutnicza, ul. Reymonta 23, 30-059 Kraków