Wykorzystanie fal termicznych do badania warstw supertwardych

• Autorzy: Bodzenta, J. , Spałek, J.

Warianty tytułu

EN

Application of thermal waves for investigations of superhard films

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

W artykule przedstawiono możliwości wykorzystania fal termicznych do badania właściwości cienkich warstw materiałów supertwardych. Opisano podstawowe właściwości fal termicznych i zaprezentowano przykładowe wyniki pomiarów. Wykazano możliwość obrazowania struktury warstwy i podłoża, na które warstwa została naniesiona, analizy jednorodności grubości warstwy i pomiaru właściwości cieplnych warstw.

EN

Possibilities of using thermal waves for investigations of superhard films are presented. Basic properties of thermal waves are described and exemplary experimental results are presented. Possibilities of applying thermal waves for imaging of structure of the film and substrate, for analyzing of film thickness homogeneity and for determination of thermal properties of thin films are shown.

Słowa kluczowe

PL

warstwa supertwarda; fala termiczna; pomiary

EN

thermal waves; superhard film; substrate

• Czasopismo: Szybkobieżne Pojazdy Gąsienicowe
• Rocznik: 2002
• Tom: nr 1 (15)
• Strony: 139--144
• Opis fizyczny: Bibliogr. 5 poz., wykr.

Twórcy

autor

Bodzenta, J.

• Politechnika Śląska, Instytut Fizyki, Gliwice

autor

Spałek, J.

• Ośrodek Badawczo-Rozwojowy Urządzeń Mechanicznych OBRUM, Gliwice
• Politechnika Ślaska, Instytut Mechanizacji Górnictwa, Gliwice

Bibliografia

• [1] TOUZELBAEV M.N., GOODSON K.E.: Applications of micron-scale passive diamond layers for the integrated circuits and micromechanical systems industries, Diamond Relat. Mater. 7, 1-14 (1998).
• [2] Nanotechnology in Materials Science, S. Mitura ed., Elsevier, Amsterdam 2000.
• [3] BODZENTA J.: Fale termiczne w badaniach ciał stałych, Zeszyty Naukowe Politechniki Śląskiej: Matematyka-Fizyka, z. 85, Gliwice 1999.
• [4] WU D., ZZINGER G., KARPEN W., BUSSE G.: Nondestructive inspection of turbine blades with lock-in thermography, Materials Science Forum 210-213, 289-294 (1996)
• [5] Schichtdickenmessung und Charakterisierung von Oberflächen mittels Oberflächenwellen. Teil 2: Photothermische Schichtdickenmessung. DIN 50992-2.