Badanie cienkich warstw przewodzących metodą prądów wirowych

• Autorzy: Stec, W.

Warianty tytułu

EN

Applying eddy current for thin conductive film control

• Konferencja: Metody i technika przetwarzania sygnałów w pomiarach fizycznych / Międzynarodowe Seminarium Metrologów (IX ; 23-25.10.2001 ; Rzeszów, Polska)
• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

W artykule zaprezentowano wyniki wstępnego etapu prac nad wykorzystaniem prądów wirowych do kontroli konduktywności warstw refleksyjnych uzyskiwanych w procesie magnetronowego rozpylania jonowego.

EN

The results of the first step of research applying eddy current for control the conductivity reflective films made by magnetron sputtering process have been presented in this paper.

Słowa kluczowe

PL

prąd wirowy; metoda prądów wirowych; warstwa przewodząca; warstwa refleksyjna; magnetronowe rozpylanie jonowe

EN

rotary current; conductivity film; reflective film; magnetron sputtering process

• Czasopismo: Zeszyty Naukowe Politechniki Rzeszowskiej. Elektrotechnika
• Rocznik: 2002
• Tom: z. 22 [192]
• Strony: 189-194
• Opis fizyczny: Bibliogr. 7 poz., rys., wykr.

Twórcy

autor

Stec, W.

• Politechnika Rzeszowska, Zakład Metrologii i Systemów Pomiarowych

• Politechnika Rzeszowska, Zakład Metrologii i Systemów Pomiarowych,

Bibliografia

• [1] Borek R., Stec W.: Zastosowanie prttd6w wirowych do badania cienkich warstw przewodzących naniesionych na podłoże szklane
• [2] Jellonek A, Karkowski Z.: Miernictwo radiotechniczne. WNT. Warszawa 1972.
• [3] Kroning M. Haissler F. Arnold W.: Surface analisis by nondestructive testing techniques. Springer-Verlag 1997.
• [4] Kuśmierz J.: Analiza funkcji przetwarzania przetwomik6w indukcyjnościowych do bezstykowego pomiaru przewodności elektrycznej. Metrologia i systemy pomiarowe. Tom V. Zeszyt 3 (1998).
• [5] Marszałek K., Leja E.: Badania charakterystyk przemysłowego magnetronu liniowego mocy 50kW. Technologia Elektronowa. VI Konferencja Naukowa, Tom 2. AGH. Kraków 1997
• [6] Pedersen L.B., Magnusson K., Zhengsheng Y.: Eddy Current Testing of Thin Layers Using Co-planar Coils. Springer-Verlag 2000.
• [7] Tian G. Y., Zhao Z.X., Baines R. W.: The research of inhomogeneity in eddy current sensors.