Badanie właściwości cienkich warstw metalicznych metodą porównań odpowiedzi na pobudzenie polem elektromagnetycznym

• Autorzy: Stec, W.

Warianty tytułu

EN

Property investigation of thin metallic layers using a method that compares responses for electromagnetic field simulation

• Konferencja: Metody i Technika Przetwarzania Sygnałów w Pomiarach Fizycznych / Materiały XII Międzynarodowego Seminarium Metrologów (XII ; 26-30.09.2004 ; Rzeszów, Polska)
• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Artykuł przedstawia metodę pomiaru rezystancji cienkich warstw metalicznych uzyskiwanych w procesie napylania jonowego. Metoda polega na indukowaniu w warstwie prądów wirowych przez cewkę pomiarową pracującą w układzie szeregowego obwodu rezonansowego.

EN

The article presents a method of resistance measure of thin metallic layers made by ion sputtering. The method rely on eddy current induction, in the layer, by measurement coil working in serial resonance circuit.

Słowa kluczowe

PL

prądy wirowe; warstwa przewodząca; warstwa metaliczna; cienka warstwa metaliczna; pomiary fizyczne; rezystancja

EN

eddy currents; conducting layer; metallic layer; metallic thin layer; physical measurements; thin film; resistance

• Czasopismo: Zeszyty Naukowe Politechniki Rzeszowskiej. Elektrotechnika
• Rocznik: 2004
• Tom: z. 27 [220]
• Strony: 171--178
• Opis fizyczny: Bibliogr. 5 poz., rys., wykr.

Twórcy

autor

Stec, W.

• Politechnika Rzeszowska, Zakład Metrologii i Systemów Pomiarowych,

Bibliografia

• 1. Gajda, Szyper M.: Modelowanie i badania symulacyjne systemów pomiarowych. Kraków 1998.
• 2. Marszałek K., Leja E.: Potokowa linia technologiczna do pokrywania wielkogabarytowych podłoży. VI Konferencja Naukowa Technologia Elektronowa ELTE’97. Tom 2. Kraków 1997.
• 3. Stec W.: Identyfikacja oddziaływań warstwy przewodzącej na parametry mierzalne głowicy pomiarowej w badaniach wiroprądowych. Metody i technika przetwarzania sygnałów w pomiarach fizycznych. Zeszyty Naukowe Politechniki Rzeszowskiej - Elektrotechnika z. 24. Rzeszów 2002.
• 4. Stec W.: Modelowanie wpływu czynników oddziałujących na pracę wiroprądowej rezonansowej głowicy pomiarowej. XI Międzynarodowe Seminarium Metrologów „Metody i technika przetwarzania sygnałów w pomiarach fizycznych” Rzeszów 24-27.09.2003.
• 5. Szyper M.: Badania modelowe systemów pomiarowych. Pomiary Automatyka Kontrola nr 9/2000. Warszawa 2000.