System kontroli parametrów elektrofizycznych krzemowych warstw epitaksjalnych i dyfuzyjnych

• Autorzy: Machalica, P. , Zając, J. , Mocny, W. , Młynarski, B. , Wójcik, J. , Zaremba, G. , Niemiec, M.
• Języki publikacji: PL

Słowa kluczowe

PL

systemy kontroli; systemy monitorowania; analiza rezystancji rozpływu; testy porównawcze

EN

controlling systems; resistance analysis; comparative tests

• Czasopismo: Prace Przemysłowego Instytutu Elektroniki
• Rocznik: 2001
• Tom: nr 146
• Strony: 239-243
• Opis fizyczny: Bibliogr. 2 poz., rys., schem.

Twórcy

autor

Machalica, P.

autor

Zając, J.

autor

Mocny, W.

autor

Młynarski, B.

autor

Wójcik, J.

autor

Zaremba, G.

autor

Niemiec, M.

• Przemysłowy Instytut Elektroniki ul. Długa 44/50 00-241 Warszawa