Computer controlled system for residual gas analysis in ultrahigh vacuum

• Autorzy: Marszałek, K. , Sulkio-Clef, B. , Macuda, R. , Marszałek, M.
• Konferencja: Techniki Próżni i Technologie Próżniowe/Konferencja Techniki próżni/Polsko Białoruskie Sympozjum Technologii Próżniowych (V; 9-11.06.1999; Borki k/Tomaszowa Maz., Polska)
• Języki publikacji: EN

Abstrakty

EN

The paper presents computer controlled system for residual gas analysis in ultrahigh vacuum. System consists ofthe Penningvac vacuum meter for the total pressure measurements, the quadrupole mass spectrometer Quadruvac Q200 for residual gas pressure measurements and personal computer IBM PC 486 with data acquisition card CIO-DAS08-AOH. Using described system one can measure total and partial pressure during the pumping or process time in UHV system equipped in analytical instrumentation. System operates under control of WINQUAD package written in Turbo Pascal for Windows (v.7.0).

Słowa kluczowe

PL

system komputerowy; próżnia

• Czasopismo: Prace Naukowe Politechniki Warszawskiej. Elektronika
• Rocznik: 1999
• Tom: z. 123
• Strony: 187-190
• Opis fizyczny: Bibliogr. 4 poz., wykr., fot.

Twórcy

autor

Marszałek, K.

autor

Sulkio-Clef, B.

autor

Macuda, R.

autor

Marszałek, M.

• Stanisław Staszic University of Minning and Metallurgy Kraków