Imaging internal defects in thyristor structures

• Autorzy: Arsoba, R. , Suszyński, Z.

Warianty tytułu

PL

Obrazowanie defektów wewnętrznych w strukturach tyrystorowych

• Konferencja: 31 International Conference and Exhibition IMAPS Poland 2007 ; 23-26.09.2007 ; Rzeszów - Krasiczyn, Poland
• Języki publikacji: EN

Abstrakty

EN

The paper presents results of imaging internal defects in silicon-aluminum-molybdenum high-power thyristor structures. Different measuring techniques were used for imaging defects. Non-destructive investigation of structures was performed using scanning acoustic microscopy (SAM) and thermal wave methods (a photoacoustic method with harmonic excitation and an infrared method with induction heating). Destructive investigation was also performed for imaging a cross-section of areas with defects with the help of scanning electron microscopy (SEM). A comparison of images obtained using different measuring methods was presented.

PL

Artykuł prezentuje wyniki obrazowania defektów wewnętrznych w strukturach krzem-aluminium-molibden stosowanych do produkcji tyrystorów dużej mocy. Do obrazowania defektów wykorzystano różne techniki pomiarowe. Badania nieniszczące struktur przeprowadzono przy użyciu skaningowej mikroskopii akustycznej (SAM) oraz metod termofalowych (metody fotoakustycznej z pobudzeniem harmonicznym i metody termowizyjnej z grzaniem indukcyjnym). Wykonano również badania niszczące w celu zobrazowania za pomocą skaningowej mikroskopii elektronowej (SEM) przekroju obszarów zawierających defekty. Przedstawiono porównanie obrazów otrzymanych różnymi metodami pomiarowymi.

Słowa kluczowe

PL

obrazowanie; defekt wewnętrzny; badania nieniszczące; struktura warstwowa; tyrystor

EN

imaging; internal defect; non-destructive testing; layered structure; thyristor

• Czasopismo: Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
• Rocznik: 2007
• Tom: Vol. 48, nr 12
• Strony: 26-28
• Opis fizyczny: Bibliogr. 4 poz., il.

Twórcy

autor

Arsoba, R.

autor

Suszyński, Z.

• Koszalin University of Technology, Department of Electronics and Computer Science

Bibliografia

• [1] Arsoba R.: Badanie jakości termokompresji w strukturach tyrystorowych metodami termofalowymi dla pobudzeń energetycznych zmiennych w czasie lub przestrzeni. PhD thesis, Koszalin, 2006.
• [2] Rosencwaig A.: Photoacoustic Microscopy. American Laboratory, vol. 11, 1979, pp 39-49.
• [3] Suszyński Z., Arsoba R., Majchrzak P.: Investigating Quality of Adhesion in Thyristor Structures by Photoacoustic Method. Proc. 25th Int. Conf. IMAPS-Poland, Rzeszów-Polańczyk, 2001, pp. 71-74.
• [4] Suszyński Z., Arsoba R., Napieralski A., Tylman W.: Infrared Detection of Delaminations Using Induction Heating. IEEE Trans. Comp. and Packag. Technol., vol. 27, no. 1, March 2004, pp. 112-116.