Piezoelektryczny napęd membran krzemowych

• Autorzy: Kowalski, P. , Jaźwiński, J. , Latecki, B. , Gniazdowski, Z. , Koszur, J.

Warianty tytułu

EN

Piezoelectric actuation of silicon membrane

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Scharakteryzowano piezoelektryczny napęd służący do wymuszania ruchu membrany krzemowej. Na podstawie otrzymanych wyników skonstruowano oraz zbadano model zaworu gazowego aktywowanego elektrycznie oraz model mikropompki cieczowej.

EN

Piezoelectric actuation of silicon membrane was investigated. On this basis, gas silicon valve and fluid micropump were designed and results of measurements are reported.

Słowa kluczowe

PL

napęd piezoelektryczny; aktywacja piezoelektryczna; mikrozawór; mikropompka

EN

piezoelectric actuation; microvalve; micropump

• Czasopismo: Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
• Rocznik: 2007
• Tom: Vol. 48, nr 10
• Strony: 81-87
• Opis fizyczny: Bibliogr. 10 poz., rys., wykr.

Twórcy

autor

Kowalski, P.

autor

Jaźwiński, J.

autor

Latecki, B.

autor

Gniazdowski, Z.

autor

Koszur, J.

• Instytut Technologii Elektronowej, Warszawa

Bibliografia

• [1] Smith R. L., Bower R., Collins S. D.: The design and fabrication of a magnetically actuated micromachined flow valve. Sensors and Actuators, A24, 1990.
• [2] Pol van de F. C. M. et al.: A Thermopneumatic Micropump Based on Micro-engineering Techniques. Sensors and Actuators, A21-A23, 1990.
• [3] Zengerle R., Richter A., Sandmaier H.: A Micro membrane pump with electrostatic actuation. Micro Electro Mechanical Systems, Feb 4-7, 1992.
• [4] Lintel van H. T. G. et al: A piezoelectric micropump based on Micromachining of Silicon. Sensors and Actuators, 15, 1988.
• [5] Shoji S., Nakagawa S., Esashi M.: Micropump and Sample-injector for Integrated Chemical Systems. Sensors and Actuators, A21-A23, 1990.
• [6] Koch E., Evans A., Brunnschweiler G. R. A.: The Dynamic Micropump Driven With a Screen Printed PZT Actuator, J. Micromech. Microeng., 8, 1998.
• [7] Nye J. F.: Własności fizyczne kryształów w ujęciu tensorowym i macierzowym. PWN, Warszawa 1962.
• [8] Olsson A., Stemme E., Stemme G.: Numerical and experimental studies of flat - walled diffuser elements for valve-less micropumps. Sensors & Actuators, 2000, pp. 165-175.
• [9] Gerlach T.: A simple Micropump Employing Dynamic Passive Valves made in Silicon. MST'94. Berlin, 1994, pp. 19-21.
• [10] Gerlach T., Wurmus H.: Working principle and performance of dynamic micropump. Sensors & Actuators, 1995, pp. 135-140.