Zastosowanie metody 3-ω do pomiaru przewodnictwa cieplnego materiałów litych oraz warstw

• Autorzy: Wojciechowski, K. T. , Mania, R. , Mars, K. , Zybała, R.

Warianty tytułu

EN

Application of the 3-ω method for thermal conductivity measurement of bulk materials and layers

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Technologie mikroelektroniczne wymagają opracowania metod pomiaru przewodnictwa cieplnego materiałów otrzymywanych w postaci cienkich warstw nanoszonych na metaliczne lub ceramiczna podłoża. Metoda 3-omega pozwala na wykonanie dokładnych pomiarów przewodnictwa cieplnego materiałów litych oraz warstw w kierunku prostopadłym do podłoża. Opisano opracowaną metodę oraz układ pomiarowy. Metoda została sprawdzona na różnego typu materiałach monokrystalicznych, polikrystalicznych oraz warstwach w zakresie przewodnictwa cieplnego 0,2...140 Wm-1K-1.

EN

Technology in microelectronics requires the development of methods of measuring thermal conductivities of materials in the form of films deposited on the substrate. The 3-omega provides accurate measurements of values of thermal conductivity of bulk materials and films in normal-to-plane direction. The paper describes developed method and experimental setup. The method was successfully verified on various polycrystalline materials, single crystals and layers over the thermal conductivity range from 0.2 to 140 Wm-1 K-1.

Słowa kluczowe

PL

metoda 3-omega; przewodnictwo cieplne; materiały cienkowarstwowe; materiały dla elektroniki

EN

3-omega method; thermal conductivity; thin layers; materials for electronics

• Czasopismo: Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
• Rocznik: 2007
• Tom: Vol. 48, nr 10
• Strony: 61-63
• Opis fizyczny: Bibliogr. 5 poz., rys., wykr.

Twórcy

autor

Wojciechowski, K. T.

autor

Mania, R.

autor

Mars, K.

autor

Zybała, R.

• Akademia Górniczo-Hutnicza, Wydział Inżynierii Materiałowej i Ceramiki, Kraków

Bibliografia

• [1] Cahill D. G. et al.: Physical Review B, vol. 50, no. 9, 1994.
• [2] Cahill D. G. et al.: Rev. Sci. Instrum. vol. 61, pp. 802–808, 1990.
• [3] Cahill D. G. et al.: J. Vac. Sci. Technol., vol. 7, no. 3, pp. 1259-1266, 1989.
• [4] Powell R. et al.: American Institute of Physics Handbook, 3rd Edition, McGraw-Hill, New York, 1972.
• [5] Perry R., et al.: Perry's Chemical Engineers' Handbook, Sixth Edition, McGraw-Hill, New York, 1984.