Wykorzystanie wiązki jonów Ga+ do wycinania preparatów do obserwacji w mikroskopie transmisyjnym

• Autorzy: Morgiel, J. , Major, Ł. , Grzonka, J. , Wojewoda, J. , Pomorska, M.

Warianty tytułu

EN

Application of Ga+ ion beam for TEM sample preparatio

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Przedstawiono podstawowe aspekty przygotowania preparatów do obserwacji w mikroskopie transmisyjnym drogą cięcia wiązką jonów Ga+, tzw. FIB (Focused Ion Beam). Preparaty wycinano na urządzeniu FEI typu Quanta 3D wyposażonym w mikromanipulator Omniprobe. Omówiono pozyskiwanie preparatu, określane jako H-bar, oraz przy wykorzystaniu mikromanipulatora, tj. pobranie preparatu w komorze urządzenia określane jako in-situ. Wykorzystanie drugiego sposobu pozwala na większą elastyczność prowadzenia obserwacji, tj. umożliwia pochylanie preparatu w większym zakresie kątów oraz sprzyja wysokiej precyzji pomiarów mikroanalizy składu chemicznego. Ta nowa w skali światowej i dopiero wprowadzana w Polsce technika przełamująca wiele barier w preparatyce cienkich folii powinna znacznie rozszerzyć zastosowanie mikroskopii transmisyjnej w badaniach materiałowych.

EN

The two most common approaches of thin foils preparation using Ga+ Focused Ion Beam type Quanta 3B by FEI company is presented. The first one frequently called the H-bar relies on mechanical thinning and final removal of material leaving a kind of a window transparent to electron beam at the sample side. The second, called in-situ is realized by cutting fine slab of a material of a size approximately of 25x10x1 um, picking it with Omniprobe micro-manipulators, fixing to copper grid and finally thinned down to electron transparency. The second procedure allows far more flexibility during transmission electron microscopy observations, i.e. larger tilt angles and raises precision of local chemical measurements. These new techniques of sample preparations help in extending transmission electron microscopy characterization to materials which due to technical problems were not available up to now.

Słowa kluczowe

PL

cienka folia; kompozyty

EN

FIB; Focused Ion Beam; thin foils; composites

• Czasopismo: Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
• Rocznik: 2007
• Tom: Vol. 48, nr 10
• Strony: 46-49
• Opis fizyczny: Bibliogr. 8 poz., il.

Twórcy

autor

Morgiel, J.

autor

Major, Ł.

autor

Grzonka, J.

autor

Wojewoda, J.

autor

Pomorska, M.

• Instytut Metalurgii i Inżynierii Materiałowej PAN, Kraków

Bibliografia

• [1] Merli P. G., Antisari M. V.: Electron Microscopy in Materials Science. World Scientific, 1991.
• [2] Bravman J. C., Sinclair R. L.: Journal of Electron Microscopy Technique. 1, 1984, 53-61.
• [3] Li J.: JOM, March 2006, 27-31.
• [4] Heaney P. J., Vicenzi E. P., Giannuzzi L. A., Livi K. J. T.: Am. Mineralogist, 86, 2001, 1094-1099.
• [5] Giannuzzi L. A., Stevie F. A.: Micron, 30, 1999, 197-204.
• [6] Rubanov S., Munroe P. R.: Micron, 35, 2004, 549-556.
• [7] Smith C. L., Lee M. R., MacKenzie M.: Microscopy and Analysis, 99, 2006, 5-8.
• [8] Sobczak N., Radziwiłł W., Nowak R., Morgiel J., Wojewoda J.: Proc. Int. Conf. HTC-2007, March 2007, Alicante, Spain.