Wytwarzanie miniaturowych sensorów elektrochemicznych i matryc sensorów na podłożu krzemowym

• Autorzy: Zaborowski, M. , Domański, K. , Prokaryn, P. , Wawrzyniak, U. , Ciosek, P. , Wróblewski, W. , Grabiec, P.

Warianty tytułu

EN

Fabrication of electrochemical microsensors and sensor matrix on silicon substrate

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Opracowane zostały trzy rodzaje sensorów woltamperometrycznych na podłożach mono-Si. W pracy opisano proces technologiczny ich wytwarzania. Zaprezentowano zdjęcia skaningowe powierzchni Au i AgCl oraz zdjęcia struktur sensorowych. Struktury zostały scharakteryzowane elektrochemicznie w testach redoks.

EN

Three types of voltamperometric chemical sensors have been developed on mono-Si substrates. A process of fabrication is described in the paper. Au and AgCl surface SEM examination together with sensor chip images are presented. Chips have been electrochemically characterized in redox tests.

Słowa kluczowe

PL

elektroda Au; sensory elektrochemiczne; technologia sensorowa

EN

Au electrode; electrochemical sensors; sensor technology

• Czasopismo: Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
• Rocznik: 2012
• Tom: Vol. 53, nr 6
• Strony: 21-22
• Opis fizyczny: Bibliogr. 2 poz., rys.

Twórcy

autor

Zaborowski, M.

autor

Domański, K.

autor

Prokaryn, P.

autor

Wawrzyniak, U.

autor

Ciosek, P.

autor

Wróblewski, W.

autor

Grabiec, P.

• Instytut Technologii Elektronowej, Warszawa

Bibliografia

• [1] Zaborowski M. et al.: pH and Temperature Microsensor for Biological Application. 20th Conf. EUROSENSORS, Göteborg, Sweden 17-20.09.2006.
• [2] Jaroszewicz B. i in.: Development of BSC Isfet Design and Technology for Environment Monitoring. IX Konf. ELTE 2007, Kraków 04-07.09.2007.