Ocena parametrów metrologicznych mikromechanicznych dźwigni piezorezystywnych

• Autorzy: Woszczyna, M. , Janus, P. , Grabiec, P. , Kolek, A. , Gotszalk, T. , Rangelow, I. W.

Warianty tytułu

EN

Evaluation of metrological parameters of the piezoresistive microcantilevers

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

W celu ilościowego opisu zjawisk zachodzących przy udziale mikromechanicznej dźwigni piezorezystywnej istotna jest znajomość podstawowych jej parametrów metrologicznych takich jak: stała sprężystości, czułość dźwigni na zadane wychylenie, a także właściwości szumowe typu termicznego oraz 1/f. Opisano proces kalibracji dźwigni sprężystej z mostkiem piezorezystywnym jako detektorem ugięcia.

EN

To obtain quantitative information about interactions between the micromechanical cantilever and its surrounding, it is crucial to determine the principlal metrological cantilever parameters such as: spring constant, response sensitivity for certain deflection and noise properties. In this article a calibration process of the cantilever with integrated piezoresistive deflection detector is presented.

Słowa kluczowe

PL

dźwignia piezorezystywna; mikroskopia sił atomowych; nanotechnologia

EN

piezoresistive cantilever; atomic force microscopy (AFM); nanotechnology

• Czasopismo: Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
• Rocznik: 2008
• Tom: Vol. 49, nr 6
• Strony: 92-94
• Opis fizyczny: Bibliogr. 6 poz., il., rys., wykr.

Twórcy

autor

Woszczyna, M.

autor

Janus, P.

autor

Grabiec, P.

autor

Kolek, A.

autor

Gotszalk, T.

autor

Rangelow, I. W.

• Politechnika Wrocławska, Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki

Bibliografia

• [1] Gotszalk T., Grabiec P., Rangelow I.W.: A novel piezoresistive microprobe for atomic and lateral force microscopy. Sensors and Actuators A 123-124, 2005, pp. 370-378.
• [2] Ralston J., Larson I., Rutland M.W., Feiler A., Kleijn M.: Atomic force microscopy and direct surface measurements. Pure Appl. Chem., vol. 77, no. 12, 2005, pp. 2149-2170.
• [3] Ptak A., Takeda S., Nakamura C., Miyake J., Kageshima M., Jarvis S.P., Tokumoto H.: Modified atomic force microscope applied to the measurement of elastic modulus for a single peptide molecule. J. Appl. Phys., vol. 90, no. 6, 15 September 2001, I pp. 3095-3099.
• [4] Gotszalk T.: Systemy mikroskopii bliskich oddziaływań mikro-i nanostruktur. Oficyna wydawnicza Politechniki Wrocławskiej, Wrocław 2005, ss. 109-110.
• [5] Proksch R.: Nondestructive Added Mass Spring Calibration with the MFP-3DTM. Nota aplikacyjna firmy Asylum research, www. asylumresearch.com
• [6] Sikora A., Sankowska A., Gotszalk T., Radojewski J., Szeloch R.: Mikroskopia sił atomowych "Shear force" z interferencyjną detekcją ostrza skanującego. Elektronizacja nr 9, 2002, ss. 11-12.