Badania układu cienkowarstwowego ZrOx na powierzchni 6H-SiC (0001) metodami LEED i XPS

• Autorzy: Skiścim, M. , Idczak, K. , Markowski, L.

Warianty tytułu

EN

The investigation of arrangement the thinlayer ZrOx on surface 6H-SiC (0001) the methods the LEED and the XPS

• Konferencja: Konferencja Techniki Próżni. 9 ; Workshop on Field Emission from Carbonaceous Materials ; 6-9.06.2011; Cedzyna, Polska
• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

W niniejszej pracy zaprezentowano wyniki badań układu cienkowarstwowego tlenku cyrkonu na powierzchni 6H-SiC (0001) metodami dyfrakcji powolnych elektronów (LEED) oraz spektroskopii fotoelektronów wzbudzanych promieniowaniem rentgenowskim (XPS). Układ badano przy różnych grubościach pokrycia oraz różnych temperaturach przegrzewania. Stwierdzono istnienie długozasięgowego uporządkowania warstw adsorpcyjnych oraz określono skład chemiczny podłoża i osadzonych na powierzchni warstw.

EN

This paper presents the results of low energy electron diffraction (LEED) and X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) studies of zirconium oxide thin films on the surface of 6H-SiC (0001). The system was tested at different coverage and annealing temperatures. The long range order of adsorbate layers on the surface was found and chemical composition of the substrate and the deposited layers was identified.

Słowa kluczowe

PL

LEED; XPS; SiC; cyrkon

EN

LEED; XPS; SiC; zirconium

• Czasopismo: Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
• Rocznik: 2011
• Tom: Vol. 52, nr 8
• Strony: 28-28
• Opis fizyczny: Bibliogr. 4 poz., il., wykr.

Twórcy

autor

Skiścim, M.

autor

Idczak, K.

autor

Markowski, L.

• Uniwersytet Wrocławski, Instytut Fizyki Doświadczalnej, Wrocław

Bibliografia

• [1] Eremtchenko M., Uhlig J., Neumann A., Óttking R., Ahmed S.I.-U., Schaefer J.A.: Surf. Sci. 602 (2008), 584.
• [2] van Elsbergen V., Kampen T. U., Monch W.: Surf. Sci. 365 (1996) 443.
• [3] Chen H. M., Xiang Y., Wang S., Zheng R., Liu L. B., Jin Z. P.: J. Alloys Compd. 474 (2009), 76.
• [4] Wei Chen, Hai Xu, Lei Liu, Xingyu Gao, Dongchen Qi, Guowen Peng, Swee Ching Tan, Yuanping Feng, Kian Ping Loh, Andrew Thye Shen Wee: Surface Science 596 (2005), 176.