Warianty tytułu
The investigation of arrangement the thinlayer ZrOx on surface 6H-SiC (0001) the methods the LEED and the XPS
Konferencja
Konferencja Techniki Próżni. 9 ; Workshop on Field Emission from Carbonaceous Materials ; 6-9.06.2011; Cedzyna, Polska
Języki publikacji
Abstrakty
W niniejszej pracy zaprezentowano wyniki badań układu cienkowarstwowego tlenku cyrkonu na powierzchni 6H-SiC (0001) metodami dyfrakcji powolnych elektronów (LEED) oraz spektroskopii fotoelektronów wzbudzanych promieniowaniem rentgenowskim (XPS). Układ badano przy różnych grubościach pokrycia oraz różnych temperaturach przegrzewania. Stwierdzono istnienie długozasięgowego uporządkowania warstw adsorpcyjnych oraz określono skład chemiczny podłoża i osadzonych na powierzchni warstw.
This paper presents the results of low energy electron diffraction (LEED) and X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) studies of zirconium oxide thin films on the surface of 6H-SiC (0001). The system was tested at different coverage and annealing temperatures. The long range order of adsorbate layers on the surface was found and chemical composition of the substrate and the deposited layers was identified.
Rocznik
Tom
Strony
28-28
Opis fizyczny
Bibliogr. 4 poz., il., wykr.
Twórcy
autor
autor
autor
- Uniwersytet Wrocławski, Instytut Fizyki Doświadczalnej, Wrocław
Bibliografia
- [1] Eremtchenko M., Uhlig J., Neumann A., Óttking R., Ahmed S.I.-U., Schaefer J.A.: Surf. Sci. 602 (2008), 584.
- [2] van Elsbergen V., Kampen T. U., Monch W.: Surf. Sci. 365 (1996) 443.
- [3] Chen H. M., Xiang Y., Wang S., Zheng R., Liu L. B., Jin Z. P.: J. Alloys Compd. 474 (2009), 76.
- [4] Wei Chen, Hai Xu, Lei Liu, Xingyu Gao, Dongchen Qi, Guowen Peng, Swee Ching Tan, Yuanping Feng, Kian Ping Loh, Andrew Thye Shen Wee: Surface Science 596 (2005), 176.
Typ dokumentu
Bibliografia
Identyfikatory
Identyfikator YADDA
bwmeta1.element.baztech-article-BWAD-0025-0006