Sterowanie MBS termicznym procesem próżniowej selenizacji warstw fotowoltaicznych

• Autorzy: Warzecha, M. , Jankowski, H. , Kenig, T. , Maksymowicz, L. , Pisarkiewicz, T.

Warianty tytułu

EN

Model Based Steering of thermal process for vacuum selenisation of photovoltaic layers

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

W pracy przedstawiono procedurę sterowania procesem termicznym w próżniowym urządzeniu RTP (Rapid Thermal Processing) do selenizacji warstw prekursorów CIS. Zastosowano podejście MBS (Model Based Steering) oparte na modelu matematycznym nieliniowych zjawisk radiacyjnego transportu ciepła. Zbudowana komora procesowa, metody pomiaru temperatury oraz realizowana trajektoria sterowania spełniają wymagania procesu selenizacji.

EN

This paper presents the procedure of thermal process Steering in vacuum RTP (Rapid Thermal Processing) device used for the selenisation of CIS precursor layers. MBS (Model Based Steering) approach, based on mathematical model of nonlinear radiative heat transfer, was applied. Constructed process chamber, methods of temperature measurement and generated Steering trajectory are meeting the requirements of the selenisation process.

Słowa kluczowe

PL

sterowanie MBS; próżniowa selenizacja; RTP; warstwy fotowoltaiczne CIS

EN

Model Based Steering; vacuum selenisation; RTP; CIS photovoltaic layers

• Czasopismo: Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
• Rocznik: 2010
• Tom: Vol. 51, nr 5
• Strony: 98-101
• Opis fizyczny: Bibliogr. 7 poz., wykr.

Twórcy

autor

Warzecha, M.

autor

Jankowski, H.

autor

Kenig, T.

autor

Maksymowicz, L.

autor

Pisarkiewicz, T.

• Katedra Elektroniki, Akademia Górniczo-Hutnicza im. St. Staszica, Kraków

Bibliografia

• [1] Repins I. i in.: Characterization of 19.9%-Efficient CIGS Absorbers. 33rd IEEE Photovoltaic Specialists Conference, San Diego, California, 2008.
• [2] Pisarkiewicz T., Jankowski H.: Vacuum selenization of metallic multilayers for CIS solar cells. Vacuum, 70, 2-3, 2003, 435-438.
• [3] Palm J., Probst V., Karg F. H.: Second generation CIS solar modules. Solar Energy, 77, 6, 2004, 757-765.
• [4] Edgar T. F. i in.: Automatic control in microelectronics manufacturing: Practices, challenges, and possibilities. Automatica, 36, 2000, 1567-1603.
• [5] Jankowski H. i in.: A model for a device with radiation heat transfer for selenization of Cu/In metallic precursors in photovoltaic applications. Vacuum, 75, 1, 2004, 79-83.
• [6] Kim S., Cho Y.: Optimal design of a rapid thermal processor via physics-based modeling and convexoptimization. Control Engineering Practice, 10, 2002, 1199-1210.
• [7] Warzecha M. i in.: Pomiary pirometryczne w modelowaniu termicznym lampy halogenowej stosowanej w procesie RTP. Elektronika, 6, 2008, 201-202.