System sterowania wiązką elektronów dział elektronowych dużych mocy w zastosowaniu do urządzeń EB PVD

• Autorzy: Czopik, A. , Sielanko, W. , Jędrzejczyk, M.

Warianty tytułu

EN

The control system of electron beam of high-power electron guns applied to EB PVD devices

• Konferencja: Kongres Polskiego Towarzystwa Próżniowego ; Krajowa Konferencja Techniki Próżni (4 ; 8 ; 21-24.09.2008 ; Janów Lubelski, Polska)
• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

W artykule przedstawiono system sterowania wiązką elektronów dział elektronowych dużych mocy w zastosowaniu do urządzeń EB PVD. Omówiono jego budowę, funkcje i możliwości systemu. Podano uzyskane wyniki w kształtowaniu rozkładu temperatury na powierzchni wsadu tygla.

EN

The control system of electron beam of high-power electron guns applied to EB PVD devices is presented. The structure, functions and operation modes of the control system are discussed.

Słowa kluczowe

PL

wiązka elektronów; sterowanie; odchylanie

EN

electron beam; control system; deflection

• Czasopismo: Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
• Rocznik: 2009
• Tom: Vol. 50, nr 1
• Strony: 49-53
• Opis fizyczny: Bibliogr. 5 poz., wykr.

Twórcy

autor

Czopik, A.

autor

Sielanko, W.

autor

Jędrzejczyk, M.

• Instytut Tele- i Radiotechniczny, Warszawa

Bibliografia

• [1] Czopik A., Olszewska K., Sielanko W., Wójcicki S.: Systemy sterowania i kontroli procesu spawania wiązką elektronów. Elektronika 4/2004.
• [2] Czopik A., Olszewska K., Sielanko W., Wójcicki S.: Systemy komputerowe w procesie spawania wiązką elektronów. Prace PIE nr 150/2004 ss. 87-100.
• [3] Sielanko W., Czopik A., Jędrzejczyk M., Kulabko A., Krawczyk S., Kozłowski M.: Odchylanie wiązki elektronów dużej mocy w urządzeniach EB PVD. Problemy Eksploatacji 1 (2007), ss.137-144.
• [4] Sielanko W., Czopik A., Kozłowski M., Jędrzejczyk M.: Kształtowanie rozkładu energii na powierzchni tygla przez padającą wiązkę elektronów odchylaną pod dużymi kątami w urządzeniu EB PVD. Elektronika 10 (2007), ss. 69-73.
• [5] Wójcicki S., Czopik A., Dąbek J., Jędrzejczyk M., Sielanko W.: Komputerowy system sterowania spawarką elektronową, rejestracji parametrów spawania oraz diagnozowania węzłowych podzespołów urządzenia. Elektronika 5, 1998, s. 20.