Warstwowy czujnik do pomiarów parametrów cieplnych materiałów

• Autorzy: Brzeziński, J. , Berlicki, T. M.

Warianty tytułu

EN

Thin film sensor for the measurement of material thermal parameters

• Konferencja: Technologia elektronowa : ELTE' 2004 : konferencja naukowa (8 ; 19-22.04.2004 ; Stare Jabłonki, Polska)
• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Zaprezentowano metodę i wyniki pomiarów parametrów cieplnych różnych materiałów. Metoda ta umożliwia wykonanie pomiarów, gdy istnieją kontaktowe opory cieplne. Parametry cieplne określane są na podstawie charakterystyki częstotliwościowej czujnika.

EN

The analysis, methods and measurement results of thermal parameters of different materials have been presented. The applied method enables the measurement in spite of presence of significant thermal contact resistance. Thermal parameters have been assessed from the frequency characteristics of the sensor.

Słowa kluczowe

PL

czujnik; czujnik termiczny; parametry cieplne

EN

sensor; thermal sensor; thermal parameter

• Czasopismo: Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
• Rocznik: 2005
• Tom: Vol. 46, nr 2-3
• Strony: 39-40
• Opis fizyczny: Bibliogr. 3 poz., wykr.

Twórcy

autor

Brzeziński, J.

• Politechnika Warszawska, Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki

autor

Berlicki, T. M.

• Politechnika Warszawska, Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki

Bibliografia

• [1] Irace A., Sarro P. M.: Measurement of thermal conductivity and diffusivity of single and multilayer membranes, Sensors and Actuators A 76, 323-328, 1999.
• [2] Ziang X., Grigoropoulos С. P.: Thermal conductivity and diffusivity of free standing silicon nitride thin films, Rev. Sci. Instrum. 66 (2), 1115-1120, 1995.
• [3] Hatta L, Sasuga Y., Kato R., Moesono A.: Thermal diffusivity measurement of thin films by of an ac calorimetric method, Rev. Sci. Instrum, 1985.