Warstwa diamentopodobna jako obszar czynny dla czujników światłowodowych

• Autorzy: Śmietana, M. , Szmidt, J. , Dudek, M.

Warianty tytułu

EN

Diamond-like carbon film as a sensitive area for optical waveguide sensor

• Konferencja: Technologia elektronowa : ELTE' 2004 : konferencja naukowa (8 ; 19-22.04.2004 ; Stare Jabłonki, Polska)
• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Przedstawiono ideę konstrukcji głowicy czujnikowej zawierającej warstwy diamentopodobne, osadzone w procesie RF PACVD na specjalnie przygotowanych światłowodach planarnych. Badania wykazują bardzo wysoką czułość podobnego rozwiązania opartego na włóknach światłowodowych na zmiany wilgotności otoczenia głowicy. Wykazano zależność czułości układu od wielkości obszaru czynnego DLC/NCD głowicy i parametrów procesu osadzania.

EN

The manuscript presents an idea of using diamond-like carbon film deposited with the Radio Frequency Plasma Activated Chemical Vapour Deposition method onto specially prepared optical planar waveguide, which can be used as a sensing head. The experiments prove very high sensitivity to humidity of similar fibre optic system. The sensitivity depends on a length of the DLC/NCD section and deposition process parameters.

Słowa kluczowe

PL

czujnik światłowodowy; właściwości warstw diamentopodobnych; metody plazmowe

EN

fibre optic sensor; diamond-like carbon layer characterisation; plasma activated methods

• Czasopismo: Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
• Rocznik: 2005
• Tom: Vol. 46, nr 2-3
• Strony: 37-38
• Opis fizyczny: Bibliogr. 8 poz., wykr.

Twórcy

autor

Śmietana, M.

• Politechnika Warszawska, Instytut Mikroelektronniki i Optoelektroniki

autor

Szmidt, J.

• Politechnika Warszawska, Instytut Mikroelektronniki i Optoelektroniki

autor

Dudek, M.

• Politechnika Łódzka, Instytut Inżynierii Materiałowej

Bibliografia

• 1. Alaluf M. i in.: Thin Solid Films, no. 256, pp. 1-3, 1995.
• 2. Mitura E. i in.: Diam. Relat. Mater., no. 3, pp. 896, 1994.
• 3. Grill A.: Diam. Relat. Mater., no. 12, pp. 166-170, 2003.
• 4. Jones C.A., Cooper K.: IEE Proc. Optoelectr., vol. 143, no. 5, pp. 316-321, 1996.
• 5. Mitura S., Mitura E., Mitura A.: Diam. Relat. Mater., 4(1995) 302-303.
• 6. Paje S. E. i inni: J. of Non-Cryst. Solids, no. 278, pp. 128-136, 2000.
• 7. Abderrahmane S. i inni: Sensors and Actuators, no. B75, pp. 1-4,2001.
• 8. Śmietana M., Szmidt J., Dudek M., Niedzielski P.: Diam. Relat. Mater, vol. 13, no. 4-8, pp. 954-957, 2004.