Sterownik do wieloetapowych procesów technologicznych

• Autorzy: Łukasiak, L. , Grabowski, J. , Nowek, P. , Stankiewicz, K. , Beck, R. B. , Jakubowski, A.

Warianty tytułu

EN

Controller for multi-step technological processes

• Konferencja: Konferencja "Technologia Elektronowa" ELTE '2004 (8 ; 19-22.04.2004, Stare Jabłonki, Polska)
• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Przedstawiono sprzęt i oprogramowanie sterownika pieca do wieloetapowych procesów technologicznych stosowanych przy wytwarzaniu struktur półprzewodnikowych. Sterownik zaprojektowano w Instytucie Mikroelektroniki i Optoelektroniki Politechniki Warszawskiej.

EN

Equipment for automated operation of a furnace for fabrication of semiconductor structures is presented together with the controlling software. The system was designed in the Institute of Microelectronics & Optoelectronics, WUT.

Słowa kluczowe

PL

oprogramowanie sterujące; piec; programowalny sterownik logiczny; proces technologiczny; przepływomierz; saturator

EN

bubbler; controlling software; furnace mass - flow controller; programmable logic controller; technological process

• Czasopismo: Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
• Rocznik: 2004
• Tom: Vol. 45, nr 10
• Strony: 22-23
• Opis fizyczny: Bibliogr. 4 poz.

Twórcy

autor

Łukasiak, L.

• Politechnika Warszawska, Instytut Mikroelektroniki i Optoelektroniki

autor

Grabowski, J.

• Politechnika Warszawska, Wydział Eletroniki i Technik Informacyjnych

autor

Nowek, P.

• Politechnika Warszawska, Wydział Eletroniki i Technik Informacyjnych

autor

Stankiewicz, K.

• Politechnika Warszawska, Wydział Eletroniki i Technik Informacyjnych

autor

Beck, R. B.

• Politechnika Warszawska, Instytut Mikroelektroniki i Optoelektroniki

autor

Jakubowski, A.

• Politechnika Warszawska, Instytut Mikroelektroniki i Optoelektroniki

Bibliografia

• [1] Grabowski J.: Sterownik wieloetapowych procesów technologicznych - sprzęt, praca dypl. inż., Wydział Elektroniki i Technik Informacyjnych, PW, Warszawa 2002.
• [2] Nowek P.: Sterownik wieloetapowych procesów technologicznych - oprogramowanie, praca dypl. inż., Wydział Elektroniki i Technik Informacyjnych, PW, Warszawa 2002.
• [3] Stankiewicz K.: Oprogramowanie nadrzędne do sterownika wieloetapowych procesów technologicznych, praca dypl. inż., Wydział Elektroniki i Technik Informacyjnych, PW, Warszawa 2002.
• [4] Sterowniki programowalne. Seria 90-30 - opis systemu, GE Fanuc Automation North America, Inc. 1997-1998.