Warianty tytułu
Diagnostics of CVD process by means of optical spectroscopy
Konferencja
Konferencja "Technologia Elektronowa" ELTE '2004 (8 ; 19-22.04.2004, Stare Jabłonki, Polska)
Języki publikacji
Abstrakty
Zastosowano optyczną spektroskopię emisyjną do badania w trybie in-situ dysocjacji cząsteczek oraz wzbudzenia i jonizacji atomów wodoru podczas procesu syntezy cienkich warstw diamentowych metodą chemicznego osadzania par gazowych, wspomaganego plazmą mikrofalową (uPACVD).Tor światłowodowy umożliwia sprzęgnięcie komory CVD z systemem spektroskopowym i wykonywanie pomiarów bezinwazyjnych. Wykonano pomiary spektralne w zakresie światła widzialnego - bliskiej podczerwieni i zbadano zależność natężenia linii serii Balmera od parametrów procesu technologicznego.
Optical Emission Spectroscopy (OES) was applied to in-situ investigation of hydrogen exciatation and ionization degree during Microwave Plasma Assisted Chemical Vapour Deposition (uPACVD) of thin diamond films. Fibre optic coupling between CVD chamber and spectroscopic system enables remote, non-invasive process monitoring. Authors made measurements in VIS-near UV range, thus investigating intensity of hydrogen lines assigned to Balmer serie as a function of CVD pocess parameters.
Rocznik
Tom
Strony
17-18
Opis fizyczny
Bibliogr. 2 poz.
Twórcy
autor
- Politechnika Gdańska, Wydział Elektroniki Telekomunikacji i Informatyki
autor
- Politechnika Gdańska, Wydział Elektroniki Telekomunikacji i Informatyki
autor
- Politechnika Gdańska, Wydział Elektroniki Telekomunikacji i Informatyki
Bibliografia
- [1] Wroczyński P., Herman A.: Rola jonów wodorowych w procesie syntezy warstw diamentowych. KBN raport no 3 P407 081 06, 1996.
- [2] Barrow G. M.: Wstęp do spektroskopii molekularnej. Wydawnictwo Naukowe PWN, Warszawa, 1968.
Typ dokumentu
Bibliografia
Identyfikatory
Identyfikator YADDA
bwmeta1.element.baztech-article-BWA2-0008-0177
JavaScript jest wyłączony w Twojej przeglądarce internetowej. Włącz go, a następnie odśwież stronę, aby móc w pełni z niej korzystać.