Warianty tytułu
Konferencja
Symposium "Diagnostic and Yield : SOI-Materials, Devices and Characterization" (4 ; 22-24.04.1998 ; Warsaw, Poland)
Języki publikacji
Abstrakty
Analytical expressions describing effective electron mobility and effective transverse electric field in the Gate-All Around (GAA) SOI transistor are proposed as functions of silicon substrate thickness, inversion layer charge and averge distance of electrons from the surface.
Słowa kluczowe
Czasopismo
Rocznik
Tom
Strony
119-122
Opis fizyczny
Bibliogr. 3 poz.
Twórcy
autor
autor
autor
- Institute of Microelectronics and Optoelectronics, Warsaw University of Technology, ul. Koszykowa 75, 00-662 Warszawa, Poland
Bibliografia
Typ dokumentu
Bibliografia
Identyfikatory
Identyfikator YADDA
bwmeta1.element.baztech-article-BWA1-0001-0446