Application of the unipole mass filter (UMF) for determination of partial pressures of gases with near atomic masses

• Autorzy: Król, A. , Szuber, J. , Kaszczyszyn, S.
• Konferencja: Seminar on Surface and Thin Film Structures (5 ; 23-26.09.1997 ; Ustroń, Poland)
• Języki publikacji: EN

Abstrakty

EN

In this paper the improvements of the recently described unipolar mass mfilter (UMF) are presented together with the new method of detrmination of the partial pressures of gases with near atomic masses.

• Czasopismo: Electron Technology
• Rocznik: 1998
• Tom: Vol. 31, No. 3/4
• Strony: 505-507
• Opis fizyczny: Bibliogr. 5 poz.

Twórcy

autor

Król, A.

autor

Szuber, J.

autor

Kaszczyszyn, S.

• Silesian Technical University, Institute of Physics, Division of Semiconductors Surface Physics, ul. Krzywoustego 2, 44-100 Gliwice, Poland