Department of Semiconductor Sensors

• Autorzy: Koszur, J.
• Języki publikacji: EN

Słowa kluczowe

PL

Instytut Technologii Elektronowej; działalność naukowo-badawcza

EN

Institute of Electron Technology; scientific activity

• Czasopismo: Prace Instytutu Technologii Elektronowej
• Rocznik: 2006
• Tom: z. 2
• Strony: 178-184
• Opis fizyczny: Bibliogr. 9 poz., rys., wykr.

Twórcy

autor

Koszur, J.

• Institute of Electron Technology, Al. Lotników 32/46, 02-668 Warsaw, Poland,

Bibliografia

• [P1] DZIUBAN J., MRÓZ J., KOSZUR J.: Integrated Gas Chromatograph. J. of Telecom. a. Inform. Technol. 2005 No. 1 p. 20-23.
• [P2] GNIAZDOWSKI Z.: Exact Extraction of Piezoresistance Coefficient using Flat Membrane. IEEE Sensors J. 2006 vol. 6 No. 1 p. 160-165.
• [P3] GNIAZDOWSKI Z.: Silicon Piezoresistive Sensors of Mechanical Quantities. Theoretical Aspects of Modeling and Design. Biblioteka Elektroniki, vol. 30, ITE, Warszawa 2005, p. 1-197 (in Polish).
• [P4] JANUS P., DOMAŃSKI K., GRABIEC P., KOSZUR J., LATECKI B., GNIAZDOWSKI Z., STUDZIŃSKA K.: Electromechanical Characterisation of Piezorezistive Force Sensors. Proc. of the VIII Sci. Conf. "Electron Technology" ELTE'2004. Stare Jabłonki, Poland, 19-22.04.2004. CD ROM 2005 p. 793-796 (in Polish).
• [P5] JAROSZEWICZ B., DOMAŃSKI K., TOMASZEWSKI D., JANUS P., KUDŁA A., LATECKI B., KOCIUBIŃSKI A., NIKODEM M., KĄTCKI J., WZOREK M., MARCZEWSKI J., GRABIEC P.: Application of Ion Implantation for Mono-Si Piezoresistors Manufacturing in Silicon MEMS Technology. Vacuum 2005 vol. 78 No. 2-4 p. 263-267.
• [P6] ŁYSKO J. M., LATECKI B., NIKODEM M., GÓRSKA M., MRÓZ J., MAŁACHOWSKI M.: Silicon TCD for the Methane and Carbon Monoxide Detection. J. of Telecom. a. Inform. Technol. 2005 No. 1 p. 94-97.
• [P7] ŁYSKO J. M., LATECKI B., NIKODEM M.: Gas Micro-Flow-Metering with the In-Channel Pt Resistors. J. of Telecom. a. Inform. Technol. 2005 No. 1 p. 98-100.
• [P8] GNIAZDOWSKI Z., KOWALSKI P., JAŹWIŃSKI J., LATECKI B.: Piezoelectric Disc as an Actuator of Silicon Membrane - Numerical Simulation Results. J. Micromech. a. Microeng. (submit. to publ.).
• [C1] GNIAZDOWSKI Z.: Micromechanical Sensors Modeling – Piezoresistive Sensors. Summer School "Basis of Constructions, Technology and Applications of Microsensors and Microsystems". Warsaw, Poland, 20-24.06.2005, Center of Microsystems Design and Technology "COMBAT" PW (lecture).