PL
 |
EN
Nowa wersja platformy, zawierająca wyłącznie zasoby pełnotekstowe, jest już dostępna.
Przejdź na https://bibliotekanauki.pl

PL EN

Preferencje help
Polish version English version Język
Widoczny [Schowaj] Abstrakt
Liczba wyników
Czasopismo

Prace Instytutu Technologii Elektronowej

2006 | z. 2 | 43-56
Tytuł artykułu

Department of Silicon Microsystem and Nanostructure Technology

Autorzy
Grabiec, P.
Warianty tytułu
Języki publikacji
EN
Abstrakty
Słowa kluczowe
PL
EN
Wydawca

Czasopismo
Prace Instytutu Technologii Elektronowej
Rocznik
2006
Tom
z. 2
Strony
43-56
Opis fizyczny
Bibliogr. 70 poz., il., wykr.
Twórcy
autor
Grabiec, P.
Bibliografia
  • [P1] BARAŃSKI M., DOMAŃSKI K., GRABIEC P., GRODNER M., JAROSZEWICZ B., KOCIUBIŃSKI A., KUCEWICZ W., KUCHARSKI K., MARCZEWSKI J., NIEMIEC H., SAPOR M., TOMASZEWSKI D.: TSSOI as an Efficient Tool for Diagnostics of SOI Technology in Institute of Electron Technology. J. of Telecom. a. Inform. Technol. 2005 No. 1 p. 85-93.
  • [P2] BECK R. B., GRABIEC P., PASZKIEWICZ R.: Silicon and Its Compounds – Non-Classical Applications. Proc. of the VIII Sci. Conf. "Electron Technology" ELTE 2004. Stare Jabłonki, Poland, 19-22.04.2004. IMIO PW 2005 p. 41-48
  • [P3] BULGHERONI A., CACCIA M., CAPPELINI C., JASTRZAB M., KOZIEL M., KUCEWICZ W., NIEMIEC H., SAPOR M., GRABIEC P., KUCHARSKI K., MARCZEWSKI J., TOMASZEWSKI D.: Status of the SOI Detector R&D. Proc. of the LCWS 2005, Stanford University 2005.
  • [P4] DOMAŃSKI K., GRABIEC P., GRODNER M., JAROSZEWICZ B., KLATKA T., KOCIUBIŃSKI A., KOZIEŁ M., KUCEWICZ W., KUCHARSKI K., KUTA S., MACHOWSKI W., MARCZEWSKI J., NIEMIEC H., SAPOR M., SZELEZNIAK M., TOMASZEWSKI D.: Monolithic Active Pixel Detector in SOI Technology. Proc. of the VIII Sci. Conf. "Electron Technology" ELTE 2004, Stare Jabłonki, Poland, 19-22.04.2004. IMIO PW 2005 p. 413-416.
  • [P5] DOMAŃSKI K., JANUS P., GRABIEC P., NIKODEM M., SILL A., PEREZ R., CHAILLET N.: Design and Fabrication of Force Sensors for Microrobot. Proc. of the VIII Sci. Conf. "Electron Technology" ELTE 2004. Stare Jabłonki, Poland, 19-22.04.2004. IMIO PW 2005 p. 785-788.
  • [P6] DOMAŃSKI K., JANUS P., GRABIEC P., PEREZ R., CHAILLET N., FAHLBUSCH S., SILL A., FATIKOW S.: Design Fabrication and Characterization of Force Sensors for Nanorobot. Microelectron. Eng. 2005 vol. 78-79 p. 171-177.
  • [P7] FILIPKOWSKI A., BRZOZKA Z., WRÓBLEWSKI W., OPALSKI L., OGRODZKI J., KOBUS A., JAROSZEWICZ B., MOSCETTA P., SANFILIPPO L., ALABASHI R., TEMPLE-BOYER P., HUMENYUK I.: System for European Water Monitoring (SEWING). Proc. of the the 19th Int. Conf. "Informatics for Environmental Protection Enviro Info". Brno, Slovakia, 7-9.09.2005, p. 49–56.
  • [P8] GOTSZALK T., GRABIEC P., RANGELOW I. W.: A Novel Piezoresistive Microprobe for Atomic and Lateral Force Microscopy. Sensors & Actuators A 2005 vol. 123-124 p. 370-378.
  • [P9] GOTSZALK T., JANUS P., MARENDZIAK A,. CZARNECKI P., RADOJEWSKI J., SZELOCH R. F., GRABIEC P., RANGELOW I. W.: Diagnostic of Micro- and Nanostructure using the Scanning Probe Microscopy. J. of Telecom. a. Inform. Technol. 2005 No. 1 p. 41-46.
  • [P10] GOTSZALK T., RADOJEWSKI J., SZELOCH R., MARENDZIAK A., KOLANEK K., WOSZYNA M., MASALSKA A., GRABIEC P., JANUS P., RANGELOW I.: Nano-Metrology of Micro- and Nano-Structures by Means of Microscopy of Short-Range Interactions . Elektronika 2005 No. 6 p. 6-10 (in Polish).
  • [P11] GOTSZALK T., SIKORA A., KOLANEK K., SZELOCH R., SZMIDT J., GRABIEC P., RANGELOW I., MITURA S.: Scanning Probe Microscopy Methods in Micro- and Nanoelectronics: Diagnostic and Fabrication. Elektronika 2005 No. 11 p. 14 (in Polish).
  • [P12] GÓRSKA M., WRZESIŃSKA H., SZERLING A., HEJDUK K., ŁYSKO J. M.: HBV Deep Mesa Etching in the InGaAs/InAlAs/AlAs Heterostructure over InP Substrate. Proc. of the VIII Sci. Conf. "Electron Technology" ELTE 2004. Stare Jabłonki, Poland, 19-22.04.2004. IMIO PW 2005 p. 809-814.
  • [P13] GÓRSKA M., WRZESIŃSKA H., SZERLING A., HEJDUK K., ŁYSKO J. M.: HBV Deep Mesa Etching in the InGaAs/InAlAs/AlAs Heterostructure on InP Substrate. Mater. Sci.-Poland 2005 vol. 23 No. 1 p. 221-226.
  • [P14] GRABIEC P., DOMAŃSKI K., JANUS P., ZABOROWSKI M., JAROSZEWICZ B.: Microsystem Technology as a Road from Macro to Nanoworld. Bioelectrochem. 2005 vol. 66 p. 23-28.
  • [P15] GRABIŃSKI W., TOMASZEWSKI D., LEMAITRE L., JAKUBOWSKI A.: Standardization of the Compact Model Coding: Non-Fully Depleted SOI MOSFET Example. J. of Telecom. a. Inform. Technol. 2005 No. 1 p. 135-141.
  • [P16] GRODNER M., KLATKA T., KOZIEŁ M., KUCEWICZ W., KUCHARSKI K., MARCZEWSKI J., NIEMIEC H., SAPOR M., SZELEZNIAK M., TOMASZEWSKI D.: CMOS SOI Technology Characterization and Verification of Device Models for Analogue Design. Proc. of the VIII Sci. Conf. "Electron Technology" ELTE 2004. Stare Jabłonki, Poland, 19-22.04.2004. IMIO PW 2005 p. 437-440.
  • [P17] JANUS P., DOMAŃSKI K., GRABIEC P., KOSZUR J., LATECKI B., GNIAZDOWSKI Z., STUDZIŃSKA K.: Electromechanical Characterisation of Piezorezistive Force Sensors. Proc. of the VIII Sci. Conf. "Electron Technology" ELTE 2004. Stare Jabłonki, Poland, 19-22.04.2004. IMIO PW 2005 p. 793-796 (in Polish).
  • [P18] JAROSZEWICZ B., TOMASZEWSKI D., KOCIUBIŃSKI A., NIKODEM M., GRABIEC P., PIJANOWSKA D., TORBICZ W., CHUDY M: Design and Process Development of Ion Sensitive FET. Proc. of the VIII Sci. Conf. "Electron Technology" ELTE 2004. Stare Jabłonki, Poland, 19-22.04.2004. IMiO PW 2005 p. 349-352 (in Polish).
  • [P19] JAROSZEWICZ B., DOMAŃSKI K., TOMASZEWSKI D., JANUS P., KUDŁA A., LATECKI B., KOCIUBIŃSKI A., NIKODEM M., KĄTCKI J., WZOREK M., MARCZEWSKI J., GRABIEC P.: Application of Ion Implantation for Mono-Si Piezoresistors Manufacturing in Silicon MEMS Technology. Vacuum 2005 vol. 78 No. 2-4 p. 263-267.
  • [P20] KOCIUBIŃSKI A., GRABIEC P., MILCZAREK W., TOMASZEWSKI D., KUCHARSKI K., BUDZYŃSKI T., DOMAŃSKI K., MARCZEWSKI J.: Polysilicon Fuses an Efficient Tool for Programming of Semiconductor Sensor Arrays. Proc. of the VIII Sci. Conf. "Electron Technology" ELTE 2004. Stare Jabłonki, Poland, 19-22.04.2004. IMIO PW 2005 p. 801-804 (in Polish).
  • [P21] KOLANEK K., GOTSZALK T., MARENDZIAK A., GRABIEC P., SZELOCH R.: Electrostatic Force Microscope for Investigation of Surface Electrical Properties. Proc. of the VIII Sci. Conf. "Electron Technology" ELTE 2004. Stare Jabłonki, Poland, 19-22.04.2004. IMIO PW 2005 p. 789-792 (in Polish).
  • [P22] KUCEWICZ W., BULGHERONI A., CACCIA M., GRABIEC P., MARCZEWSKI J., NIEMIEC H.: Development of Monolithic Active Pixel Detector in SOI Technology. Nucl. Instr. a. Meth. A 2005 vol. 541 No. 1-2 p. 172-177.
  • [P23] KUCHARSKI K., TOMASZEWSKI D., GRODNER M., DUTKIEWICZ W., GRABIEC P., HEJDUK K., KOCIUBIŃSKI A., MALESIŃSKA J., KOKOSZKA A., OBRĘBSKI D., SZYNKA J.: MPW Service for Manufacturing of CMOS ASICs in a National Center of Silicon Micro- and Nano-Technology. Proc. of VIII Sci. Conf. "Electron Technology" ELTE 2004. Stare Jabłonki, Poland, 19-22.04.2004. IMIO PW 2005 p. 361-364.
  • [P24] LACH Z. T., ZIENTKIEWICZ J. K., GRABIEC P.: Controlling Light in Nanophotonic Structures. Proc. SPIE 2005 vol. 5956 p. 1-8.
  • [P25] ŁUKASIAK L., JAKUBOWSKI A., TOMASZEWSKI D.: Modeling I-V Characteristics of a p-MOSFET with a SiGe Channel. Proc. of the VIII Sci. Conf. Electron Technology ELTE 2004. Stare Jabłonki, Poland, 19-22.04.2004. IMIO PW 2005 p. 381-384.
  • [P26] ŁUKASIAK L., JAKUBOWSKI A., TOMASZEWSKI D.: Modeling MOS Capacitors with SiGe Gate. Proc. of the VIII Sci. Conf. Electron Technology ELTE 2004. Stare Jabłonki, Poland, 19-22.04.2004. IMiO PW 2005 p. 385-388.
  • [P27] ŁYSKO J. M., LATECKI B., NIKODEM M., GÓRSKA M., MRÓZ J., MAŁACHOWSKI M.: Silicon TCD for the Methane and Carbon Monoxide Detection. J. of Telecom. a. Inform. Technol. 2005 No. 1 p. 94-97.
  • [P28] ŁYSKO J. M., LATECKI B., NIKODEM M.: Gas Micro-Flow-Metering with the In-Channel Pt Resistors. J. of Telecom. a. Inform. Technol. 2005 No. 1 p. 98-100.
  • [P29] MARCZEWSKI J.: Bulk Silicon Detectors of Ionizing Radiation. The Role of the Depletion Layer. Biblioteka Elektroniki vol. 29, ITE, Warsaw, Poland 2005, p. 1-96.
  • [P30] MARCZEWSKI J., CACCIA M., DOMAŃSKI K., GRABIEC P., GRODNER M., JAROSZEWICZ B., KLATKA T., KOCIUBIŃSKI A., KOZIEL M., KUCEWICZ W., KUCHARSKI K., TOMASZEWSKI D.: Monolithic Silicon Pixel Detectors in SOI Technology. Nucl. Instr. a. Meth. A 2005 vol. 549 No. 1-3 p. 112-116.
  • [P31] NIEMIEC H., BULGHERONI A., CACCIA M., GRABIEC P., GRODNER M., JASTRZAB M., KUCEWICZ W., KUCHARSKI K., KUTA S., MARCZEWSKI J., SAPOR M., TOMASZEWSKI D.: Monolithic Active Pixel Sensor Realized in SOI Technology – Concept and Verification. Microelectron. Reliab. 2005 vol. 45 No. 7-8 p. 1202-1207.
  • [P32] SŁYSZ W., WĘGRZECKI M., BAR J., GRABIEC P., GÓRSKA M., LATTA C., ZWILLER V., PEARLMAN A., CROSS A., KORNEEV A., KOUMINOV P., SMIRNOV K.: Fiber-Coupled Quantum-Communications Receiver Based on Two NbN Superconducting Single-Photon Detectors. Proc. SPIE 2005 vol. 5957 p. 1-10.
  • [P33] SŁYSZ W., WĘGRZECKI M., BAR J., GRABIEC P., GOL'TSMAN G. N., VEREVKIN A., SOBOLEWSKI R.: NbN Superconductiong Single-Photon Detector Coupled with a Communication Fiber. Elektronika 2005 No. 6 p. 51-52 (in Polish).
  • [P34] SŁYSZ W., WĘGRZECKI M., BAR J., GRABIEC P., GOL'TSMAN G. N., VEREVKIN A., SOBOLEWSKI R.: NbN Superconductiong Single-Photon Detector Coupled with a Communication Fiber. Proc. of the VIII Sci. Conf. "Electron Technology" ELTE 2004. Stare Jabłonki, Poland, 19-22.04.2004. IMIO PW 2005 p. 633-636 (in Polish).
  • [P35] TOMASZEWSKI D., KOCIUBIŃSKI A., MARCZEWSKI J., KUCHARSKI K., DOMAŃSKI K., GRABIEC P.: A Versatile Tool for Extraction of MOSFETs Parameters. J. of Telecom. a. Inform. Technol. 2005 No. 1 p. 129-134.
  • [P36] TOMASZEWSKI D., DOMAŃSKI K., GRABIEC P., GRODNER M., JAROSZEWICZ B., KLATKA T., KOCIUBIŃSKI A., KOZIEŁ M., KUCEWICZ W., KUCHARSKI K., KUTA S., MARCZEWSKI J.: Design Fabrication and Characterization of SOI Pixel Detectors of Ionizing Radiation. Proc. of the NATO ARW "Science and Technology of Semiconductor-On-Insulator Structures and Devices Operating in a Harsh Environment". Kiev, Ukraine, 25-29.04.2004, 2005 p. 291-296.
  • [P37] TOMASZEWSKI D., FLANDRE D., GRABIEC P., KOCIUBIŃSKI A., RENAUX C., KUCHARSKI K.: Characterization of FD-SOI MOSFETs Based on EKV Model. Workshop "Principles and Practice of the Compact Modelling and Its Standardization" accompanying the ESSDERC'2005 Conf. Grenoble, France, 16.09.2005. http://www.mos-ak.org ; MOS-AK.
  • [P38] TOMASZEWSKI D., ŁUKASIAK L., MAGIEROWSKI S., INIEWSKI K.: 2-D Numerical Modeling of MOSFET Varactors for Application in High-Speed Voltage Controlled Oscillators. Proc. of the the 12th Int. Conf. MIXDES'2005. Krakow, Poland, 22-25.06.2005, p. 873-876.
  • [P39] TOMASZEWSKI D., MALINOWSKI A., KOCIUBIŃSKI A.: Extraction of EKV Model Parameters using MOSTXX Application. Proc. of the the 12th Int. Conf. MIXDES’2005. Krakow, Poland, 22-25.06.2005, p. 919-922.
  • [P40] ZABOROWSKI M., GRABIEC P., BARCZ A.: Manufacturing of Pt-Electrode by Wet Etching. Microelectron. Eng. 2005 vol. 82 No. 3-4 p. 283-288.
  • [P41] ZABOROWSKI M., GRABIEC P., WRÓBLEWSKI W., ROMANOWSKA E., WRZESIŃSKA H.: Planar Pseudo-Reference Electrode for pH Measurement. Proc. of the VIII Sci. Conf. "Electron Technology" ELTE 2004. Stare Jabłonki, Poland, 19-22.04.2004. IMiO PW 2005 p. 831-834 (in Polish).
  • [P42] ZABOROWSKI M., GRABIEC P., NIKODEM M.: Selected Techniques of Low-Temperature Wafer Bonding. Proc. of the VIII Sci. Conf. "Electron Technology" ELTE 2004. Stare Jabłonki, Poland, 19-22.04.2004. IMiO PW 2005 p. 835-838 (in Polish).
  • [P43] ZAJĄC J., WÓJCIK J., KOCIUBIŃSKI A., TOMASZEWSKI D.: Semi-Automatic Test System for Characterization of ASIC/MPWS. J. of Telecom. a. Inform. Technol. 2005 No. 1 p. 124-128.
  • [P44] ZAJĄC J., WÓJCIK J., TOMASZEWSKI D., NIEMIEC H., KUCHARSKI K., KOCIUBIŃSKI A.: A System for Testing and Characterization of ASIC/MPWS. Proc. of the VIII Sci. Conf. "Electron Technology" ELTE 2004. Stare Jabłonki, Poland, 19-22.04.2004. IMiO PW 2005 p. 475-478 (in Polish).
  • [P45] ZIENTKIEWICZ J. K., LACH Z. T., GRABIEC P., DRIESSEN A., JASKORZYNSKA B., WOSINSKI L.: A Roadmap to a Technological Platform for Integrating Nanophotonic Structures with Micro-Mechanical Systems in Silicon-on-Insulator. Proc. SPIE 2005 vol. 5956 p. 1-11.
  • [P46] ZIENTKIEWICZ J. K., LACH Z. T., GRABIEC P.: Nanophotonic Reconfigurable Add-Drop Multiplexer on a Silicon Chip. Proc. SPIE 2005 vol. 5956 p. 1-8.
  • [P47] LACH Z. T., ZIENTKIEWICZ J. K., GRABIEC P.: Controlling Light in Nanophotonic Structures. Europe Congress on Optics and Optoelectronics. Warsaw, Poland, 28.08-2.09.2005. Proc. SPIE 2005 vol. 5956 p. 1-8.
  • [C1] BULGHERONI A., CACCIA M., CAPPELINI C., JASTRZAB M., KOZIEL M., KUCEWICZ W., NIEMIEC H., SAPOR M., GRABIEC P., KUCHARSKI K., MARCZEWSKI J., TOMASZEWSKI D.: Status of the SOI Detector R&D. The 2005 Int. Linear Collider Workshop. Stanford, California, USA, 18-22.03.2005.
  • [C2] CACCIA M., BULGHERONI A., JASTRZAB M., KOZIEL M., KUCEWICZ W., NIEMIEC H., SAPOR P., GRABIEC P., KUCHARSKI K., MARCZEWSKI J., TOMASZEWSKI D.: SOI Detector R&D. Int. Linear Collider Physics and Detector Workshop and Second ILC. Colorado, USA, 14-27.08.2005.
  • [C3] CHUNG-HUANG YANG, PIJANOWSKA D., GRABIEC P.: A New Body-Effect Elimination Technique for ISFET Measurement, 2005 IEEE Sensors In. Conf. Irvine, USA, 31.10–3.11.2005.
  • [C4] FILIPKOWSKI A., BRZOZKA Z., WRÓBLEWSKI W., OPALSKI L., OGRODZKI J., KOBUS A., JAROSZEWICZ B., MOSCETTA P., SANFILIPPO L., ALABASHI R., TEMPLE-BOYER P., HUMENYUK I.: System for European Water Monitoring (SEWING). 19th Int. Conf. "Informatics for Environmental Protection Enviro Info". Brno, Slovakia, 7-9.09.2005.
  • [C5] GRABIEC P.: Heterogeneous Microsystem Technology for Interdisciplinary Applications – Focus on Transport and Related Applications. Sustainable and Safe Surface Transport Conf. Warsaw, Poland, 23.11.2005 (inv. lecture).
  • [C6] GRABIEC P.: What is Required to Increase East-West Collaboration? Europractice Meet. Prague, Czech Republic, 10-13.01.2005 (inv. lecture).
  • [C7] GRABIEC P.: From Silicon to Heterogeneous Technologies – Development of Microsystems for Biomedical Application. 84-th ICB Seminar on "Biochemical Sensing – Utilisation of Micro- and Nano-Technologies". Warsaw, Poland, 24-26.11.2005 (inv. lecture).
  • [C8] JASTRZAB M., KUCEWICZ W., NIEMIEC H., SAPOR M., KUCHARSKI K., MARCZEWSKI J., TOMASZEWSKi D.: Full-Size Monolithic Active Pixel Sensor in SOI Technology – Design Considerations, Simulations, and Measurements Results. European Symp. on Semiconductor Detectors. Wildbad Kreuth, Germany, 12-16.06.2005 (paper).
  • [C9] KUDŁA A., BOROWICZ L., ZABOROWSKI M.: Determination of the Optical Properties of Thin Metal Layers in MOS Structures with Spectroscopic Ellipsometry and Interferometric Microscopy. Woollam Ellipsometer User Seminar. Darmstadt, Germany, 10-12.10.2005. L.O.T. ORIEL 2005.
  • [C10] ŁYSKO J.: Digital Angel – Digital Angel or Digital Nightmare? Institute of Physics PAN. Warsaw, Poland, 4.12.2005 (inv. lecture, in Polish).
  • [C11] RZODKIEWICZ W., PANAS A., PRZEWŁOCKI H. M.: Studies of Compaction and Decompaction of SiO2 Layers on Silicon Substrates by Interferometry and Spectroscopic Ellipsometry. E-MRS Spring Meet. Strasbourg, France, 28.05-28.06.2005 (poster).
  • [C12] SŁYSZ W., WĘGRZECKI M., BAR J., GRABIEC P., GÓRSKA M., LATTA C., ZWILLER V., PEARLMAN A., CROSS A., KORNEEV A., KOUMINOV P., SMIRNOV K.: Fiber-Coupled Quantum-Communication Receiver Based on Two NBN Superconducting Single-Photon Detectors. SPIE Int. Congress on Optics and Optoelectronics. Warsaw, Poland, 28.08-2.09.2005 (poster).
  • [C13] SZMIGIEL D., DOMAŃSKI K., PROKARYN P., GRABIEC P.: Deep Etching of the Biocompatible Silicon Rubber. 31st Int. Conf. on Micro and Nano-Engineering. Vienna, Austria, 19-22.09.2005 (poster).
  • [C14] TOMASZEWSKI D., MALINOWSKI A., KOCIUBIŃSKI A.: Extraction of EKV Model Parameters using MOSTXX Application. 12th Int. Conf. MIXDES'2005. Krakow, Poland, 22-25.06.2005 (poster).
  • [C15] TOMASZEWSKI D., ŁUKASIAK L., MAGIEROWSKI S., INIEWSKI K.: 2-D Numerical Modeling of MOSFET Varactors for Application in High-Speed Voltage Controlled Oscillators. 12th Int. Conf. MIXDES'2005. Krakow, Poland, 22-25.06.2005.
  • [C16] TOMASZEWSKI D., FLANDRE D., GRABIEC P., KOCIUBIŃSKI A., RENAUX C., KUCHARSKI K.: Characterization of FD-SOI MOSFETs Based on EKV Model. Workshop "Principles and Practice of the Compact Modelling and Its Standardization". Grenoble, France, 16.09.2005 (poster).
  • [C17] WZOREK M., KĄTCKI J., PŁUSKA M., RATAJCZAK J., JAROSZEWICZ B., DOMAŃSKI K., GRABIEC P.: Buried Amorphous-Layer Impact on Dislocation Densities in Silicon. XII Int. Conf. on Electron Microscopy of Solids (EM'2005). Kazimierz Dolny, Poland, 5-9.06.2005 (poster).
  • [C18] WZOREK M., KĄTCKI J., PŁUSKA M., RATAJCZAK J., JAROSZEWICZ B., DOMAŃSKI K., GRABIEC P.: TEM Study of Silicon Implanted with Fluorine and Boron Applied to Piezoresistors Manufacturing. XIV Int. Conf. on Microscopy of Semiconducting Materials. Oxford, United Kingdom, 11-14.04.2005 (poster).
  • [C19] WZOREK M., KĄTCKI J., PŁUSKA M., RATAJCZAK J., JAROSZEWICZ B., DOMAŃSKI K., GRABIEC P.: The Impact of a Buried Amorphous Layer on Dislocation Densities in Silicon. Autumn School on Materials Science and Electron Microscopy 2005, "Microscopy of Tomorrow's Industrial Materials". Berlin, Germany, 3-8.10.2005 (commun.).
  • [C20] ZABOROWSKI M., SZMIGIEL D., GOTSZALK T., IVANOVA K., SAROV Y., IVANOV T., VOLLAND B., RANGELOW I. W., GRABIEC P.: Nano-Line width Control & Standards using Lateral Pattern Definition Technique. 31st Int. Conf. on Micro and Nano-Engineering. Vienna, Austria, 19-22.09.2005 (poster).
  • [C21] ZABOROWSKI M., GRABIEC P., BARCZ A.: Manufacturing of Pt-Electrode by Wet Etching. Conf. Mater. for Advanced Metallization MAM'2005. Dresden, Germany, 6-9.03.2005 (poster).
  • [PA1] GRABIEC P., JANUS P., DOMAŃSKI K., MILCZAREK W.: A Method of Integration of Multi-Structure Microsystems. Pat. Appl. No. P.37571 (in Polish).
  • [PA2] EDINGER K., RANGELOW I., GRABIEC P., MELNGAILIS J.: Field Effect Transistor Sensor. Int. Pat. US 20050062116 A1, 24 March 2005.
Typ dokumentu
Bibliografia
Identyfikatory
Identyfikator YADDA
bwmeta1.element.baztech-article-BWA0-0034-0002
JavaScript jest wyłączony w Twojej przeglądarce internetowej. Włącz go, a następnie odśwież stronę, aby móc w pełni z niej korzystać.