Pomiar grubości membran krzemowych stosowanych w mikroczujnikach

• Autorzy: Gołębiowski, J. , Prohuń, T. , Rybak, M.

Warianty tytułu

EN

The measurement of thickness of silicon membranes used in microsensors

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Zaprezentowano metody: stykową i bezstykowe (optyczne) do pomiaru grubości membran krzemowych. W metodach optycznych wykorzystano pomiary natężenia strumienia światła przechodzącego przez mikrostrukturę krzemową. Omówione metody pomiarowe znajdują zastosowanie przy sprawdzaniu grubości membran krzemowych podczas procesu ich dotrawiania. Proces ten ma na celu uzyskanie membran o założonej grubości. Często przy zbyt cienkiej membranie następuje jej przetrawienie i uszkodzenie. Pomiar grubości pozwala na uniknięcie uszkodzenia membrany i określenie czasu dotrawiania.

EN

Contact and off-contact (optical) methods to measure silicon membranes' thickness are shown in the article. In optical methods the measurement of lights stream intensity coming across the silicon microstructure was used. The methods presented apply to checking the silicon membranes thickness during the process of etching. The goal of this process is to obtain membranes of assumed thickness. When the membrane is too thin it effects with over-etching and damaging the membrane. The measurement of thickness can avoid damaging the membrane and can determine time of etching as well.

Słowa kluczowe

PL

system mikromechaniczny; membrana krzemowa; pomiar optyczny; grubość

EN

micro-electro-mechanical system (MEMS); silicon membrane; optical measurement; thickness

• Czasopismo: Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
• Rocznik: 2006
• Tom: Vol. 47, nr 1
• Strony: 53-56
• Opis fizyczny: Bibliogr. 8 poz., il., wykr.

Twórcy

autor

Gołębiowski, J.

autor

Prohuń, T.

autor

Rybak, M.

• Politechnika Łódzka, Instytut Elektrotechniki Teoretycznej, Metrologii i Materiałoznawstwa

Bibliografia

• [1] Adee J. M., Steinbruchel Ch.: Non-destructive, interferometriec method for measuring the thickness of a silicon membrane. Thin Solid Films 306, 1997, pp. 171-173.
• [2] Doros M.: Przetwarzanie obrazów. WSISSiZ, Warszawa 2003.
• [3] Gniadek K.: Optyczne przetwarzanie informacji. Wydawnictwo Naukowe PWN, Warszawa 1992.
• [4] Oppenheim A. V., Schafer R.: Cyfrowe przetwarzanie sygnałów. Wydawnictwa Komunikacji i Łączności, Warszawa 1979.
• [5] Szwedowski A.: Materiałoznawstwo optyczne i optoelektroniczne. Wydawnictwa Naukowo-Techniczne, Warszawa 1996.
• [6] Zawada-Tomkiewicz A.: Komputerowa analiza i przetwarzanie obrazów. Wydawnictwo Uczelniane Politechniki Koszalińskiej, Koszalin 1999.
• [7] Zieliński T. P.: Od teorii do cyfrowego przetwarzania sygnałów. Wydział EAIiE AGH, Kraków 2002.
• [8] Prohuń T., Rybak M., Gołębiowski J.: Zastosowanie metody przetwarzania obrazu do pomiaru grubości membran krzemowych mikroczujników. XIII Konferencja SIS, Łódź 2005.