Czasopismo
2008
|
Vol. 53, iss. 1
|
265-270
Tytuł artykułu
Autorzy
Wybrane pełne teksty z tego czasopisma
Warianty tytułu
Uwzględnianie ekstynkcji wtórnej nowąmetodą absorpcji promieni X w pomiarze grubości cienkiej folii
Konferencja
SOTAMA Symposium on Texture and Microstructure Analysis (2; 26-28.09.2007; Cracow, Poland)
Języki publikacji
Abstrakty
A new approach accounting for secondary extinction (SE) is proposed for calculating the thickness of a foil mounted on textured substrate. To this end, the extinction-affected intensities of a strong substrate reflection are measured at different levels of interaction between X-radiation and crystal medium and, hence, these intensities suffer different extinction. Making use of such a series of measured intensities, the effect of extinction on the calculated foil thickness is eliminated by a proper definition of the zero-extinction condition. In this case, the definition is based on the incident-bean intensity independence of the empirical extinction coefficient k which is expressed by the measured intensities. The more precise interpretation of the experimental data leads to defining an extinction-free foil thickness, which results in improvement in the accuracy of the foil thickness determination.
Zaproponowano nowe rozwiązanie dotyczące obliczeń grubości folii osadzonej na steksturyzowanym podłożu, uwzględniające ekstynkcję wtórną (SE). W tym celu, intensywność silnego odbicia dyfrakcyjnego od podłoża obarczone ekstynkcją, mierzone są przy różnych poziomach oddziaływania pomiędzy promieniami X i materiałem krystalicznym folii. Wpływ ekstynkcji na mierzoną grubość folii można wyeliminować poprzez właściwą definicję warunku zero-ekstynkcji, stosując serię zmierzonych intensywności. W takim przypadku, definicja oparta jest na niezależności intensywności wiązki pierwotnej od współczynnika doświadczalnej ekstynkcji k wyrażanego przez mierzoną intensywność. Interpretacja danych doświadczalnych prowadzi do dokładnego wyznaczenia grubości folii pozbawionej wpływu ekstynkcji.
Słowa kluczowe
Czasopismo
Rocznik
Tom
Strony
265-270
Opis fizyczny
Bibliogr. 23 poz., rys.
Twórcy
autor
autor
autor
- JORDAN MALINOWSKI CENTRAL LABORATORY FOR PHOTOGRAPHIC PROCESS, BULGARIAN ACADEMY OF SCIENCES, ACAD. G. BONCHEV ST., BLOCK 10, SOFIA 1113, BULGARIA
Bibliografia
- [1] H. Friedman, L. S. Birks, Thickness measurement of thin coatin gs by X-ray absorption. Rev. Sci. Instruments 17, 99 (1946).
- [2] O. K. Kolerov, A. N. Longvinov, V.G. Skryabin, V. D. Yushin, Application of X-ray diffractometry for non-destructive investigations of layered samples. Instrum. Exp. Tech. (USSR) 27, 468-471 (1984).
- [3] B. Coulman, H. Chen, L. E. Rehn, Gauging film thickness: A comparison of an X-ray diffraction technique with Rutherford backscattering spectrometry, J. Appl. Physics 57, 643-645 (1985).
- [4] C. Brandt, G. van der Vlie t, Quantitative analysis of thin samples by X-ray diffraction, Adv. X-Ray Analysis 29, 203-209 (1986).
- [5] D. E. Anderson, W. J. Thomson, Layer thickness determinations with X-ray diffraction, J. Appl. Cryst. 22, 150-154 (1989).
- [6] J. Lhotka, R. Kuzel, G. Cappuccio, V. Valvoda, Thickness determination of thin polycrystalline films by grazing incidence X-ray diffraction, Mater. Sci. Forum 443-444. 115-118 (2004).
- [7] P. F. Fewster, X-rays Scattering from Semiconductors, London: Imp. College Press, 2 nd Edition, (2003).
- [8] International Tables of X-Ray Crystallography 2, 313, Birmingham: Kinoch Press (1959).
- [9] V. Yamakov, I. Tomov, Secondary extinction in textured films, J. Appl. Cryst. 32, 300-308 (1999).
- [10] I. Tomov, Accounting for secondary extinction in XRD characterizations of texture and microstructure with anisotropy methods, Arch. Mettal. & Materials 50, 147-157 (2005).
- [11] I. Tomov, Secondary extinction correction used in a novel method for improved XRD characterizations of textured materials: The case of thin films. Z .f. Kristallogr- in press. (Proceedings of the X European Powder Diffraction Conference (EPDICIO), 1-4 September 2006, Geneva, Switzerland).
- [12] A. McL. Mathieson, On freedom from extinction and the (universal) kinematical limit, Acta Cryst. A35, 50-57 (1979).
- [13] C. G. Darwin, The reflection of X-rays from imperfect crystals, Phil. Mag. 43, 800-824 (1922).
- [14] S. Chandrasekhar, Extinction in X-ray Crystallography, Advances in Physics 9, 363-385 (1960).
- [15] W. H. Zachariasen, The secondary extinction correction, Acta Cryst. 16, 1139-1144 (1963).
- [16] R. W. James, The Optical Principles of the Diffraction of X-rays, London: G. Bell & Sons, Ltd. (1965).
- [17] T. M. Sabine, International Tables for Crystallography, Dordrecht: Kluwer Akademik Publishers C, 530-533 (1992).
- [18] M. Birson, J. A. Szpunar, Extinction and grain-size anisotropy correction of texture data obtained using neutron diffraction, J. Appl. Cryst. 31, 163-168 (1998).
- [19] M. Järvinen, M. Merisalo, A. Pesonen, O. Inkinen, Correction of integrated X-ray intensities for preffered orientation in cubic powders, J. Appl. Cryst. 3, 313-318 (1970).
- [20] H. J. Bunge, Textures and Microstructures, Influence of texture on powder diffraction 29, 1-26 (1997).
- [21] W. L. Bragg, R. W. James, C. H. Bosamquet, The intensity of a reflection of X-rays by rock salt: Part II. Phil. Mag. 42, 1-17 (1921).
- [22] H. J. Bunge, In Directional Properties of Materials, edited by Bunge H. J., 1-63. (1988) Oberursel 1: DMG Informationgeselschaft mbH.
- [23] I. Tomov, M. Monev, Orientations distributions by recovery behaviour in electrodeposited copper layers at room temperature, J. Appl. Electrochem 22, 262-267 (1992).
Typ dokumentu
Bibliografia
Identyfikatory
Identyfikator YADDA
bwmeta1.element.baztech-article-BSW3-0046-0043