Metody pomiaru parametrów cieplnych cienkich warstw

• Autorzy: Bodzenta, J.

Warianty tytułu

EN

Methods for determination of thermal parameters of thin films

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Wyznaczanie własności cieplnych cienkich warstw jest stosunkowo trudnym problem. Największe trudności sprawiają pomiary dla warstw naniesionych na grube podłoża. W artykule przedstawiono przegląd metod, które są wykorzystywane w takich pomiarach. Szczególną uwagę zwrócono na metody opracowane i stosowane w Instytucie Fizyki Politechniki Śląskiej. Przeanalizowano również możliwości przedstawionych technik pomiarowych.

EN

Determination of thermal properties of thin films is rather complicated problem. The greatest difficulties cause measurements for films deposited on thick substrates. In the paper a review of methods using in such measurements is done. Special attention is paid to photothermal methods elaborated and applied in Institute of Physics, Silesian University of Technology. Analysis of potentialities of presented measuring techniques is also carried out.

Słowa kluczowe

PL

pomiar parametrów cieplnych; cienkie warstwy; metoda stałego strumienia; metoda impulsowa; metoda falowa

• Czasopismo: Zeszyty Naukowe. Matematyka - Fizyka / Politechnika Śląska
• Rocznik: 1999
• Tom: z. 87
• Strony: 13-24
• Opis fizyczny: Bibliogr. 27 poz.

Twórcy

autor

Bodzenta, J.

• Instytut Fizyki Politechnika Śląska, 44-100 Gliwice, ul. Krzywoustego 2, tel. [phone],