Effect of plasma enhanced treatments on the microstructure and properties of titanium oxycarbonitride produced by PACVD method

• Autorzy: Sobiecki, J.R. , Mańkowski, P. , Wierzchoń, T.

Warianty tytułu

PL

Wpływ obróbki plazmowej na mikrostrukturę i właściwości tlenowęgloazotku tytanu wytwarzanego metodą PACVD

• Konferencja: Advanced Materials and Technologies, AMT'2004 : XVII Physical Metallurgy and Materials Science Conference (XVII; 20-24.06.2004; Łódź, Polska)
• Języki publikacji: EN

Abstrakty

EN

By using a gas mixture composed of titanium tetraisopropoxynitride, hydrogen and nitrogen in the PACVD process carried out at a temperature of about 500°C, we can produce a titanium oxycarbonitride layer with good performance properties, such as hardness, corrosion resistance and frictional wear resistance. The present paper describes a method of modifying the performance properties of the Ti(N,C,O) layers and the composite layers of the nitrided layer+Ti(N,C,O) type. The method consists of subjecting the layers to glow discharge assisted annealing in a nitrogen-hydrogen atmosphere. The effect of the annealing on the structure and the chemical composition of the outer zone of the Ti(N,C,O) coating, and thus on its performance properties, is discussed.

PL

Stosując mieszaninę gazową złożoną z par tetraizopropoksytytanu, wodoru i azotu można wytwarzać warstwę tlenowęgloazotku tytanu w temperaturze około 500°C charakteryzującą się dobrymi właściwościami użytkowymi m. in. wysoką twardością, dobrą odpornością korozyjną oraz odpornością na zużycie przez tarcie. W artykule przedstawiono sposób kształtowania własności użytkowych warstw Ti(N,C,O) oraz warstw kompozytowych typu warstwa azotowana + Ti(N,C,O) polegającą na wygrzewaniu otrzymanych warstw w warunkach wyładowania jarzeniowego w atmosferze azotu i wodoru. Przedstawiono zmiany struktury i składu chemicznego strefy zewnętrznej warstwy Ti(N,C,O), co z kolei gwarantuje wzrost własności użytkowych.

Słowa kluczowe

PL

obróbka plazmowa; mikrostruktura; tlenowęgloazotek tytanu; metoda PACVD; warstwa

• Czasopismo: Inżynieria Materiałowa
• Rocznik: 2004
• Tom: R. XXV, nr 3
• Strony: 662-665
• Opis fizyczny: Bibliogr. 13 poz., tab., rys.

Twórcy

autor

Sobiecki, J.R.

• Warsaw University of Technology, Faculty of Materials Science and Engineering, Warsaw

autor

Mańkowski, P.

• Warsaw University of Technology, Faculty of Materials Science and Engineering, Warsaw

autor

Wierzchoń, T.

• Warsaw University of Technology, Faculty of Materials Science and Engineering, Warsaw

Bibliografia

• [1] G. Herzer, J. Magn. Magn. Mater. 112(1992)258.
• [2] A.R. Yavan, O. Drbohlav, Mater. Trans. JIM 36 (l995) 896.
• [3] Y.H. Kim, A. Inoue, T. Masumoto, Mater. Trans. JIM 31 (1190) 747.
• [4] A. Makino, A. Inoue, T. Masumoto, Mater. Trans. JIM 36 (19995) 924.
• [5] K. Suzuki, A. Makino, A. Inoue, T. Masumoto, J. Appl. Phys. 70 (1991)6232.
• [6] A. Inoue, Mater. Sci. Forum, 179-181 (19995) 497.
• [7] K. Hono, A. Inoue, T. Sakurai, Appl. Phys. Lett. 58 (1991) 2180.
• [8] K. Hono, K. Hiraga, A. Inoue, Acta Metali. Mater. 40 (1994) 2137.
• [9] A. R. Yavari, D. Negri, NanoStruct. Mater. 8 (1997) 969.
• [10] P. Marin, M. Vazquez, A.O. Olofmjana, HA. Davies, Nanostructured Materials, vol. 10, no. 2 (1998) 299-310.
• [11] K. Hono, Acta Metalurgica, 47, 11, (1999) 3127-3145.
• [12] T. Graf, G. Hampel, J. Korus, J. Hesse, G. Herzer, Nanostructured Materials, 6, (1995) 469-472.
• [13] K. Hono, K. Higara, Q. Wang, A. Inoue and T. Sakurai, Acta Metali. Mater.,40,9, (1992)2137.