Nanomechanical behaviour of silicon

• Autorzy: Rymuza, Z. , Misiak, M. , Grabiec, P. , Rangelow, I. , Sossna, E. , Sunyk, R.

Warianty tytułu

PL

Nanomechaniczne zachowanie się krzemu

• Języki publikacji: EN

Abstrakty

EN

Nanomechanical chracterization of N-type, P-type single crystal silicon and polysilicon engineering, structural materials for Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) was carried out and hardness and modulus of elasticity are given and discussed. The effect of crystal orientation ( <100> and < 111> ) on nano-scale mechanical behaviour of these materials is also considered. Comparison of nanoewar of single-crystal P-type silicon <100> and the ultra-thin coating of silicon dioxide on the same substrate is also included.

PL

Przedstawiono wyniki badań nanomechanicznych krzemu krystalicznego typu N i P oraz polikrzemu jako materiałów konstrukcyjnych dla mikrosystemów (MEMS).Podano twardość oraz moduł sprężystości.Omówiono talże wpływ orientacji krystalicznej krzemu na jego własności mechaniczne. Zamieszczono porównanie nanozużycia krzemu typu P<100> i warstwy dwutlenku krzemu na tym samym podłożu krzemowym.

Słowa kluczowe

EN

silicon; nanomechanical testing

• Czasopismo: Tribologia
• Rocznik: 1999
• Tom: nr 3
• Strony: 397-409
• Opis fizyczny: bibliogr. 13 poz. tab., wykr.

Twórcy

autor

Rymuza, Z.

autor

Misiak, M.

autor

Grabiec, P.

autor

Rangelow, I.

autor

Sossna, E.

autor

Sunyk, R.

• Politechnika Warszawska, Instytut Mikromechaniki i Fotoniki