Pomiar ciśnienia wysokiej próżni z wykorzystaniem impulsowej jonizacji gazu strumieniem elektronów

• Autorzy: Szczepaniak, L.

Warianty tytułu

EN

High Vacuum pressure measurement using pulse electron beam ionization

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Przy pomiarach wysokiej próżni wykorzystywana jest metoda jonizacyjna. Zastosowanie impulsowej jonizacji gazu umożliwia znaczącą redukcję wpływu termicznej desorpcji na wartość mierzonego ciśnienia. Daje to zmniejszenie błędu metody oraz redukcję mocy grzewczej dostarczanej do katody.

EN

High vacuum pressure is measuring using a ionization method. Using a pulse modulation gas ionization reduce a thermal desorption effect. Less thermal desorption effect give a reducing measurement error and pulse ionization method reduce a heating power consumption too.

Słowa kluczowe

PL

przyrząd próżniowy; jonizacja impulsowa; wysoka próżnia

EN

vacuum gauges; pulse ionization; high vacuum

• Czasopismo: Przegląd Elektrotechniczny
• Rocznik: 2009
• Tom: R. 85, nr 4
• Strony: 178-181
• Opis fizyczny: Bibliogr. 2 poz., rys., wykr.

Twórcy

autor

Szczepaniak, L.

• Politechnika Lubelska,

Bibliografia

• [1] Szczepaniak L., Sikora J. Stanowisko pomiarowe do badania próżniowych przyrządów pomiarowych z gorąca katodą w stanach statycznych i dynamicznych Przegląd Elektrotechniczny, (2008), nr.3, 270-272
• [2] Sikora J. Dual application of a biasing system to an electron source with a hot cathode, Meas. Sci. Technol., (2004), n.15, N10-N14