The GD source of neutralized ion beam as a tool of surface nanomodification

• Autorzy: Wilk, J. , Kowalski, Z.

Warianty tytułu

PL

Źródło zneutralizowanej wiązki jonów i jego zastosowanie do nanomodyfikacji powierzchni

• Języki publikacji: EN

Abstrakty

EN

The paper presents a simple and convenient source of neutralized ion beam as well as its use to surface nanomodification. Surface polishing, surface roughening, generation of surface and subsurface structure elements (waves, ripples) are discussed. All those events are especially crucial in such processes like ion-beam thinning of samples for TEM, sputter depth profiling, generation of patterns in sub-100 nm regime for micro/nanoelectronics.

PL

Artykuł prezentuje proste i użyteczne źródło zneutralizowanej wiązki jonów i jego zastosowanie do nanomodyfikacji powierzchni. Omówiono zagadnienia polerowania i chropowacenia powierzchni oraz generacji powierzchniowych i przypowierzchniowych elementów struktury (fale, zmarszczki). Znaczenie opisywanych zjawisk (procesów) jest szczególnie ważne w takich procesach jak jonowiązkowa preparatyka dla TEM, profilowanie głębokościowe z wykorzystaniem rozpylania jonowego, wytwarzanie submikrometrowych struktur dla mikro- i nanoelektroniki.

Słowa kluczowe

PL

wiązka jonów; nanomodyfikacja powierzchni; źródło jonów

EN

GD ion gun; ion beam; surface nanomodification

• Czasopismo: Przegląd Elektrotechniczny
• Rocznik: 2008
• Tom: R. 84, nr 3
• Strony: 36-38
• Opis fizyczny: Bibliogr. 10 poz., rys., tab.

Twórcy

autor

Wilk, J.

autor

Kowalski, Z.

• Wrocław University of Technology,

Bibliografia

• [1] Loesing R., Guryanov G.M., Hunter J.L., Griffis D.P., J. Vac. Sci. Technol. B, 18(2000), 509-513.
• [2] Reynolds G.W., Taylor J.W., J. Vac. Sci. Technol. B, 16 (1999), 2723-2729.
• [3] Gillespie L., Mc Laren A.C., Boland J.N., J. Mater. Sci. 6 (1971), 87-89.
• [4] Heuer A.H., Firestone R.F., Snow J.D., Green H.W., Howe R.G., Rev. Sci. Instrum. 42 (1971), 1177-1184.
• [5] Crockett C.G., Vacuum 23 (1972), 11-13.
• [6] Marendziak A., Gotszalk T., Wilk J., Kowalski Z.W., Rangelow I.W., Elektronika 6 (2005), 15-17.
• [7] Wilk J., Martan J., Kowalski Z.W., Vacuum 70 (2003), 87-91.
• [8] Kowalski Z.W., Morphology of ion sputtered surface – technological and biomedical implications (in Polish), Oficyna Wydawnicza Politechniki Wrocławskiej, Wrocław 2001, Chapter 5.2, 50-67 and Chapter 7.1, 94-96.
• [9] Navez M., Sella C., Chaperot D., Colloques Internationaux CNRS, Bellevue 4-8 Dec. 1962, 233.
• [10] Łukaszewicz M., Kowalski Z.W., J Mater Sci 16(1981), 302-306.