Zastosowanie nanosekundowej mikroobróbki laserowej do wykonywania metalowych elementów urządzeń MEMS

• Autorzy: Tański, M. , Barbucha, R. , Janke, M. , Garasz, K. , Kocik, M. , Mizeraczyk, J.

Warianty tytułu

EN

Application of nanosecond laser micromachining in fabrication of metal MEMS elements

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

W niniejszym artykule omówiono zastosowanie mikroobróbki laserowej impulsami nanosekundowymi do wykonywania metalowych elementów urządzeń MEMS (microelectromechanical systems). Omówiono ogólnie nanosekundową mikroobróbkę laserową materiałów metalowych oraz przedstawiono przykłady elementów urządzeń MEMS wykonanych tą techniką. Przedstawiono także problem degradacji obrabianego materiału podczas nanosekundowej mikroobróbki laserowej. Rozwiązaniem tego problemu może być zastosowanie do mikroobróbki laserowych impulsów femtosekundowych.

EN

In this article we present the possible application of nanosecond laser micromachining in fabrication of metal MEMS element. We describe the process of laser micromachining of materials and present few examples of metal MEMS elements. We also focus on the problem of thermal degeneration of material during process of nanosecond laser micromachining. This problem is to be avoided when femtosecond laser pulses are used in MEMS laser manufacturing.

Słowa kluczowe

PL

mikroobróbka laserowa; mikrosystemy; obróbka precyzyjna; ablacja laserowa; MEMS

EN

MEMS; laser micromachining; microsystems; precise machining; laser ablation

• Czasopismo: Przegląd Elektrotechniczny
• Rocznik: 2010
• Tom: R. 86, nr 11a
• Strony: 211-213
• Opis fizyczny: Bibliogr. 7 poz., rys.

Twórcy

autor

Tański, M.

autor

Barbucha, R.

autor

Janke, M.

autor

Garasz, K.

autor

Kocik, M.

autor

Mizeraczyk, J.

• Instytut Maszyn Przepływowych PAN, Ośrodek Techniki Plazmowej i Laserowej, ul. Fiszera 14, 80-231 Gdańsk,

Bibliografia

• [1] Beeby S., Ensell G., Kraft M. , White N., „MEMS mechanical sensors”, Artech House, Inc., Norwood, pp. 11, 2004.
• [2] J. G. Korvink, O. Paul , „MEMS: a practical guide to design, analysis, and applications”, William Andrew, Inc, Norwich, pp. 805, 2006.
• [3] Webb C., Jones J., „Handbook of laser technology and applications: applications”, Institute of Physic Publishing, Londyn, pp. 1684, 2004.
• [4] Pawlak R. , Kostrubiec F., Walczak M., Tomczyk M., „Modelowanie i realizacja laserowych procesów mikrotechnologicznych dla wybranych zastosowań w elektrotechnice i elektronice”, Referaty Sympozjum Techniki Laserowej, vol. 8, pp. 167-178, 2006.
• [5] McGeough J. A., „Micromachining of engineering materials”, Marcel Dekker, Inc., Nowy Jork, pp.203-219, 2002.
• [6] Piqué A., Chrisey D. B., „Direct-write technologies for rapid prototyping applications: sensors”, Academic Press, San Diego, pp. 385, 2002.
• [7] Dahotre N. B., Harimkar S. P., „Laser fabrication and machining of materials”, Springer Science, Nowy Jork, pp. 265, 2008.