Źródło jonów z parownikiem ogrzewanym przez wyładowanie łukowe. Symulacje komputerowe i eksperyment

• Autorzy: Turek, M. , Droździel, A. , Pyszniak, K. , Prucnal, S. , Żuk, J.

Warianty tytułu

EN

Arc discharge ion source with an evaporator. Computer simulations and experiment

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

W artykule zaprezentowano nowy typ źródła jonów, szczególnie użyteczny w razie potrzeby uzyskania wiązek jonów pierwiastków metalicznych, także trudnotopliwych. Opisano także model numeryczny pozwalający na obliczenia wydajności jonizacji w zależności od parametrów pracy źródła. Przedstawiono wyniki symulacji. Pokazano wybrane doświadczalne charakterystyki źródła, otrzymane dla żelaza i glinu.

EN

A new type of ion source is presented that is especially useful for metalic ion beams, also in the case of refractory metals. A numerical model enabling ion source efficiency calculations is described and some simulation results are discussed. Ion source characteristics measured for iron and aluminum are presented.

Słowa kluczowe

PL

źródła jonów; symulacje komputerowe; implantacja jonowa; jony pierwiastków metalicznych

EN

ion sources; computer simulations; metalic ions

• Czasopismo: Przegląd Elektrotechniczny
• Rocznik: 2010
• Tom: R. 86, nr 7
• Strony: 193-195
• Opis fizyczny: Bibliogr. 19 poz., rys., wykr.

Twórcy

autor

Turek, M.

autor

Droździel, A.

autor

Pyszniak, K.

autor

Prucnal, S.

autor

Żuk, J.

• Uniwersytet Marii Curie-Skłodowskiej, Instytut Fizyki, pl. M. Curie-Skłodowskiej 1, 20-031 Lublin,

Bibliografia

• [1] Prucnal S. et al. Appl. Phys. Lett., 90 (2007) 181121
• [2] Ping C. et al. J. Rare Earth, 24 (2006) 298
• [3] Kulik M., Żuk J. et al.,Elektronika, 7-8 (2008) 15
• [4] Niel sen K.O., Nucl. Instr. Meth. B, 1 (1957) 289
• [5] Brown I.G. et al., J. Appl. Phys., 63 (1988) 4889
• [6] Wiśniewski R., et al., Vacuum, 81 (2007) 1191
• [7] Wilczyńska T. et al., Przegląd Elektrotechniczny, 84 (2008) 186
• [8] Alton G.D. et al. Rev. Sci. Instrum., 66, (1994) 2006
• [9] Yamada H., Torii Y., Rev. Sci. Instrum., 57 (1986) 1282
• [10] Brown I.Get al., Appl. Phys. Lett., 47 (1985) 358
• [11] Turek M., Pyszniak K., et al., Vacuum, 82 (2008) 1103
• [12] Hockney R.W., Eastwood J.W., Computer Simulation Using Particles, Hilger, Philadelphia (1988)
• [13] Press W.H. et al., Numerical Recipes: The Art of Scientific Computing. Cambridge University Press, Cambridge (1986)
• [14] Kim Y.-K., Stone P.M., Phys. Rev. A 64 (2001) 052707
• [15] Bartlett P.L., Stelbovics A.T., Phys. Rev. A 66 (2002) 012707
• [16] Yagi S., Nagata T., J. Phys. Soc. Jap. 70 (2001) 2559
• [17] Yagi S., Nagata T., J. Phys. Soc. Jap. 69 (2000) 1374
• [18] Ev tukhov R. N. et al., Rev. Sci. Instrum. 63 (1992) 2463
• [19] Brown I.G., The Physics and Technology of Ion Sources Wiley, Weinheim, 2004