Structure changes in thin metal films during their thermal treatment

• Autorzy: Chaplanov, A. , Markevich, M. , Stelmakh, V.F. , Kozak, C.

Warianty tytułu

PL

Zmiany struktury cienkich warstw metalowych pod wpływem obróbki cieplnej

• Języki publikacji: EN

Abstrakty

EN

Under pulsed thermal treatment of the films, grain growth takes place provided that the non-equilibrium vacancy concentration is high, thus stimulating the migration of grain boundaries.

PL

Przy poddaniu cienkich warstw obróbce termicznej impulsowej występuje rozrost ziaren pod warunkiem, że koncentracja wakansów nierównowagowych jest wysoka, stymulująca migrację granic ziaren.

Słowa kluczowe

PL

struktura; gęstość; energia swobodna; wakans; rozrost ziaren

EN

structure; density; free energy; vacancy; grain growth

• Czasopismo: Przegląd Elektrotechniczny
• Rocznik: 2010
• Tom: R. 86, nr 7
• Strony: 24-25
• Opis fizyczny: Bibliogr. 7 poz., rys., wykr.

Twórcy

autor

Chaplanov, A.

autor

Markevich, M.

autor

Stelmakh, V.F.

autor

Kozak, C.

• Physical-Technical Institute of NAS of Belarus,

Bibliografia

• [1] Горелик С. С., Рекристаллизация металлов и сплавов.-М.- Металлургия (1979), 425 с.
• [2] Markevich M. I., Tochitsky E. I., Chapl anov A.M., On the Kinetics of Redistribution of Vacancies in F.C.C. Metal Films under High Rate Heating, Thin Solid Films Vol. 168 (1989), 363- 368.
• [3] Маркевич М. И., Чапланов А. М ., Особенности быстрого термического отжига при импульсной световой обработке, Физика и химия обработки материалов №4 (2002), 90-93.
• [4] Тоцицкий Э. И., Кристаллизация и термообработка тонких пленок.-Минск: Наука и техника (1976), 362с.
• [5] Хесснер Ф., Рекристаллизация металлических материалов.- М.- Металлургия (1982), 352 с.
• [6] Аристов В. Ю., Фрадков В. Е., Швиндлерман Л. С., Взаимодействие движущейся границы зерна с поверхностью кристалла, ФММ, Т. 45.-Вып.-5 (1978), 997-1008.
• [7] Mullins W.W., Theory of thermal growing, J. Appl. Phys., V.8. №3 (1957), 333-341.