Novel low power microwave plasma sources at atmospheric pressure

• Autorzy: Czylkowski, D. , Jasiński, M. , Mizeraczyk, J.

Warianty tytułu

PL

Nowe małej mocy mikrofalowe źródło plazmy przy ciśnieniu atmosferycznym

• Języki publikacji: EN

Abstrakty

EN

The aim of this paper is to present the results of our experimental investigations concerning novel low power microwave plasma sources. Such devices are of high interest from industry point of view, namely for plastic or metal surface treatment. Proposed by us plasma sources are small, simple and low cost. Plasma generated by them is of regular shape. They can be operated at atmospheric pressure, at standard frequency of 2.45 GHz and microwave power lower than 500 W.

PL

Celem pracy jest zaprezentowanie opracowanych przez nas nowych mikrofalowych źródeł plazmy małej mocy. Takie urządzenia cieszą się zainteresowaniem przemysłu w celu zastosowań w obróbce plastikowych i metalowych powierzchni. Zaproponowane przez nas źródła plazmy małej mocy są małe, proste I tanie. Pracują pod ciśnieniem atmosferycznym I standardowej częstotliwości 2,45 GHz.

Słowa kluczowe

PL

wyładowanie pod ciśnieniem atmosferycznym; obróbka powierzchni

EN

atmospheric pressure discharge; microwave plasma sources; surface treatment

• Czasopismo: Przegląd Elektrotechniczny
• Rocznik: 2012
• Tom: R. 88, nr 8
• Strony: 39-42
• Opis fizyczny: Bibliogr. 12 poz., rys., wykr.

Twórcy

autor

Czylkowski, D.

autor

Jasiński, M.

autor

Mizeraczyk, J.

• The Szewalski Institute of Fluid-Flow Machinery, Polish Academy of Sciences, ul. Fiszera 14, 80-952 Gdańsk,

Bibliografia

• [1] Chen H.H., Weng C.C., Liao J.D., Chen K.M., Hsu B.W., Photo-resist stripping process using atmospheric pressure micro-plsma system, J. Phys. D: Appl. Phys. 42 (2009), 1-8
• [2] Denes F. S., Manolache S., Macromolecular plasmachemistry: an emerging field of polymer science, Prog. Polym. Sci. 29 (2004), 815–885
• [3] Chu P.K., Chen J.Y., Wang L.P., Huang N., Plasmasurface modification of biomaterials, Materials Science and Engineering R 36 (2002), 143–206
• [4] Morent R., De Geyter N., Verschuren J., De Clerck K., Kiekens P., Leys C., Non-thermal plasma treatment of textiles, Surface & Coatings Technology 202 (2008), 3427– 3449
• [5] C. Tendero, C. Tixier, P. Tristant, J. Desmaison, P. Leprince, Atmospheric pressure plasmas: A review, Spectrochimica Acta Part B 61 (2006), 2-30
• [6] Moisan M., Zakrzewski Z., Rostaing J.C., Waveguidebased single and multiple nozzle plasma torches: the TIAGO concept, Plasma Sources Sci. Technol., 10 (2001), 387-395
• [7] Nowakowska H., Czylkowski D., Zakrzewski Z., Surface wave sustained discharge in argon: two-temperature collisional-radiative model and experimental verification, J.Optoelectron. Adv. Mater., 7 (2005), 2427-2437
• [8] Moisan M., Beaudry C., Leprince P., A new device for the production of long plasma columns at a high electron density, Phys. Lett., 50A (1974), 125-126
• [9] Moisan M., Zakrzewski Z., Pantel R., Leprince P.: A waveguide-based launcher to sustain long plasma columns through the propagation of an electromagnetic surface wave, IEEE Trans. Plasma Sci., PS-12 (1984), 203-214
• [10] Moisan M., Zakrzewski Z., Etemadi R., Rostaing J.C., Multitube surface-wave discharges for increased gas throughput at atmospheric pressure, J. Appl. Phys., 83 (1998), 5691-5701
• [11] Jasińsk i M., Goch M., Mizeraczyk M., Plasma device for treatment of material surfaces, Patent Application, No. P 383703
• [12] Jasiński M., Goch M., Mizeraczyk J., Urządzenie mikrofalowe do generacji płaszczyzny plazmowej, Przegląd Elektrotechniczny, 86 (2010), nr.7, 112-114