Niepewność oceny indukcji pola magnetycznego na podstawie badania zniekształceń obrazów w skaningowej mikroskopii elektronowej

• Autorzy: Oskwarek, Ł.

Warianty tytułu

EN

Uncertainty of magnetic induction evaluation on the basis of images distortion in scanning electron

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Tematyka artykułu dotyczy analizy metrologicznej wyników pomiarów i obliczeń związanych z opracowaną wcześniej oryginalną metodą oceny wpływu zewnętrznych pól zakłócających na wyniki obrazowania metodą skaningowej mikroskopii elektronowej. Oszacowanie niepewności poszukiwanej wartości indukcji pola magnetycznego (na podstawie danych empirycznych i zależności analitycznych) daje możliwość oceny poprawności przyjętej metodyki badań oraz wpływu poszczególnych czynników (wielkości) na precyzję uzyskanych wyników.

EN

The paper concerns the metrological analysis of measurements and calculations associated with previously developed an original method of assessing the impact of the external interference fields on the results of imaging by scanning electron microscopy. The uncertainty estimation of calculated value of magnetic induction (based on empirical data and analytical dependencies) gives the opportunity to evaluate the accuracy of the research methodology and the impact of various factors (quantities) on the precision of obtained results.

Słowa kluczowe

PL

niepewność pomiaru; mikroskopia elektronowa; zniekształcenia obrazu mikroskopowego; indukcja magnetyczna

EN

measurement uncertainty; electron microscopy; microscope image distortions; magnetic induction

• Czasopismo: Przegląd Elektrotechniczny
• Rocznik: 2012
• Tom: R. 88, nr 2
• Strony: 236-241
• Opis fizyczny: Bibliogr. 22 poz., rys., tab., wykr.

Twórcy

autor

Oskwarek, Ł.

• Politechnika Warszawska, Wydział Elektryczny, Instytut Elektrotechniki Teoretycznej i Systemów Informacyjno-Pomiarowych, ul. Koszykowa 75, 00-661 Warszawa,

Bibliografia

• [1] Vladar A.E.: Scanning electron microscopy in real world environment; www.nanobuildings.com (2003)
• [2] Isabell T.C.: Analytical instrumentation facility requirements for nanotechnology; www.nanobuildings.com (2004)
• [3] Goldstein J., Newbury D.E., Joy D.C., Lyman C.E., Echlin P., Lifshin E., Sawyer L., Michael J.R.: Scanning Electron Microscopy and X-ray Microanalysis; Springer, New York (2003)
• [4] Płuska M.: Metodyka eliminacji wpływu zakłóceń periodycznych na obrazy rejestrowane w skaningowej mikroskopii elektronowej; rozprawa doktorska, Instytut ETiSIP, Politechnika Warszawska, Warszawa (2009)
• [5] Płuska M., Oskwarek Ł.: Metoda określenia wpływu zewnętrznego pola magnetycznego na wiązkę elektronów oraz na obwody elektryczne w skaningowym mikroskopie elektronowym; Przegląd Elektrotechniczny, 5 (2008), 345–348
• [6] Płuska M., Oskwarek Ł., Rak R.J., Czerwiński A.: Measurement of Magnetic Field Distorting the Electron Beam Direction in Scanning Electron Microscope; IEEE Transactions on Instrumentation and Measurement, 58 (2009), n.1, 173-179
• [7] Expression of the uncertainty of measurement in calibration, Ref. EA-4/02 European cooperation for Accreditation; ISO (1999). Wydanie polskie: Wyrażanie niepewności pomiaru przy wzorcowaniu; GUM (2001)
• [8] Taraldsen G.: Instrument resolution and measurement accuracy; Metrologia, 43 (2006), n.6, 539-544
• [9] Wilink R.: On the uncertainty of the mean of digitized measurements; Metrologia, 44 (2007), n.1, 211-219
• [10] FEI Company, XL-Series – Electronics; Instrukcje serwisowe skaningowego mikroskopu elektronowego Philips XL30 (2006)
• [11] Oskwarek Ł.: Przykłady zastosowań metod planowania i oceny eksperymentu w tomografii impedancyjnej i mikroskopii elektronowej; Pomiary Automatyka Kontrola (2011, artykuł przyjęty do publikacji)
• [12] Kosmol M.: Wybrane zagadnienia metodologii badań; Wyd. Politechniki Śląskiej, Gliwice (2010)
• [13] Pavese F., Forbes A.B..: Data Modeling for Metrology and Testing in Measurement Science; Series: Modelling and Simulation in Science, Engineering and Technology, A Birkhäuser Book, Boston (2009)
• [14] Dokument JCGM 100:2008: Evaluation of measurement data (na bazie: Guide to the expression of uncertainty in measurement; International Organisation for Standarization, ISO/IEC/OIML/BIMP, Geneva (1993, 1995)). Wydanie polskie: Wyrażanie niepewności pomiaru. Przewodnik; GUM (1999)
• [15] Turzeniecka D., Domańska A.: Dokładność oceny niepewności i dokładność systemów pomiarowych; Współczesna Metrologia – zagadnienia wybrane (rozdz. 3). WNT, Warszawa (2004)
• [16] Oskwarek Ł.: Metodyka szacowania niepewności w pomiarach pośrednich na przykładzie wyników badań oscyloskopowych czasu trwania impulsu; Przegląd Elektrotechniczny, 2 (2008), 100–104
• [17] Lisowski M.: Metody przybliżone obliczenia niepewności pomiarów pośrednich; Niepewność pomiarów w teorii i praktyce, praca zbiorowa, wyd. GUM (2010), 83–99
• [18] Shah D.: Measure for measure: Getting to the bottom of measurement uncertainty; American Society for Quality (2009), www.qualityprogress.com
• [19] Cox M.G., Harris P.M.: Measurement uncertainty and traceability; Measurement Science and Technology, 17 (2006), 533–540
• [20] Rabinovich S.G.: Evaluating Measurement Accuracy: A Practical Approach; 1. Edit., Springer-Verlag, New York (2010)
• [21] Kotłowska M., Kozak A.: O pomiarach fizycznych; Wyd. Naukowe UAM, Poznań (2008)
• [22] The NIST Reference on Constants, Units and Uncertainty – Fundamential Phisical Constants, www.physics.nist.gov