Warstwy węglowe wytwarzane w plazmie MW/RF

• Autorzy: Kaczorowski, W. , Niedzielski, P. , Mitura, S.

Warianty tytułu

EN

carbon coatings deposited by MW/RF plasma

• Konferencja: Ogólnopolska Konferencja "Nowoczesne Technologie w Inżynierii Powierzchni" (III; 3-6.10.2006; Łódź-Spała, Polska)
• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

W pracy przedstawiono wyniki badań właściwości warstw węglowych wytwarzanych metodą MW/RF PACVD. Dzięki różnym parametrom syntezy powłok istnieje możliwość sterowania uzyskiwanymi właściwościami pokryć w szerokim zakresie. Skonstruowana w Instytucie Inżynierii Materiałowej aparatura pozwala na syntezę zarówno warstw DLC (diamond-like carbon) jak i NCD (nanocrystalline diamond). Tego rodzaju pokrycia zostały dotychczas przebadane pod kątem zastosowania w obróbce skrawaniem [1,2], elektronice [3] oraz medycynie [4,5,6]. Aktualnie przeprowadzane prace mają na celu wykorzystanie wytwarzanych warstw UNCD w biosensorach. Zaprezentowane wyniki badań wskazują na szerokie możliwości zastosowania opisywanych pokryć.

EN

In this work, carbon films deposited using MW/RF PACVD method were investigated. The examinations of deposition have shown, that it was possible to produce coating with different properties, which depend on plasma parameters and applied gas mixtures. A dual mode microwave/radio frequency plasma system manufactured in the Institute of Materials Science and Engineering permits to obtain diamond-like carbon (DLC) and nanocrystalline diamond (NCD) coatings. Presented coatings have been investigated as protective layers onto cutting tools [1,2], in microelectronics [3] and biomedical applications [4,5,6]. The present work are carried out in order to check the UNCD coatings as biosensors. The results indicate that described carbon film can be used in many different types of applications.

Słowa kluczowe

PL

właściwości warstw węglowych; metoda MW/RF PACVD; wytwarzanie; zastosowanie

• Czasopismo: Inżynieria Materiałowa
• Rocznik: 2006
• Tom: Vol. 27, nr 5
• Strony: 1044-1046
• Opis fizyczny: Bibliogr. 11 poz., rys., tab.

Twórcy

autor

Kaczorowski, W.

autor

Niedzielski, P.

autor

Mitura, S.

• Kaczorowski, W. - Zakład Inżynierii Biomedycznej, Instytut Inżynierii Materiałowej, Politechnika Łódzka,

Bibliografia

• [1] W. Kaczorowski, P.Niedzielski, P. Couwat: Hard carbon coating for cutting aluminium alloys, Journal of Superhard Materialsl57 ( 2005)12
• [2] A. Gołąbczak, P. Niedzielski : Application of Hard Karbon Coating Madę by Dense Plasma RF CVD Methodfor Increase of Life Metal Slitting Saws, Journal of Chemical Vapor Deposition, 3 (1995), 332-341
• [3] T. Guzdek , J. Schmidt, M. Dudek, P. Niedzielski: NCD films as an active gate layer in chem FAT structures, Diamond and Related Materials 13 (2004) 1059-1061
• [4] S. Mitura, A. Mitura, P. Niedzielski, P. Couvrat : Nanocrystalline diamond coating, Nanotechnology in Materiale Science, Pergamon Press, Elsevier 200, 2165-2176
• [5] R. Hauert: An oven>iew on the tribological behavior of diamondlike carbon in technical and medical applications, Tribology International 37 (2004) 991- 1003
• [6] K. Bąkowicz, S. Mitura: Biocompatibility of NCD, Journal of Wide Bandgap Materials 9 (2002) 261-272
• [7] M.R. Wertheimer, H.R. Thomas, M.J. Perri, J. Klemberg- Sapieha, L. Martinu: Plasmas and polymers: From laboratory to large scalę commercialisation, Pure and Appl. Chem. 68 (1996), 1047-1053
• [8] J. Klemberg-Sapieha, O.M. Kuttel, L. Martinu, M.R. Wertheimer: Dual microwave-RF plasma deposition of functional coatings, Thin Solid Films 193/194 (1990) 965-972
• [9] W. Kaczorowski, P.Niedzielski, S.Mitura: „Wytwarzanie warstw węglowych w nowym reaktorze MW/RF", Inżynieria Biomateriałów 43-44(2005)28
• [10] W. Kaczorowski, P.Niedzielski, S.Mitura: „Charakteryzacja warstw węglowych wytwarzanych metodą MW/RF PACYD", Inżynieria Materiałowa 5(2005)236
• [11] T. Błaszczyk, B. Burnat, H. Scholl, P. Niedzielski, W. Kaczorowski: The influence of the NCD layer s obtainted by MW/RF PCVD method on surface propertiesof AISI 316 L steel, Journal of Superhard Materials,w druku