Synteza wartstw tlenku baru ze związków metaloorganicznych

• Autorzy: Andreasik, P. , Kwatera, A. , Sawka, A. , Juda, W.

Warianty tytułu

EN

Synthesis of barium oxide thin films using metalorganic compounds

• Konferencja: Ogólnopolska Konferencja "Nowoczesne Technologie w Inżynierii Powierzchni" (III; 3-6.10.2006; Łódź-Spała, Polska)
• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Otrzymano amorficzne warstwy tlenku baru za pomocą metody MOCVD (Metal Organie Chemical Vapour Deposition) z wykorzystaniem związku Ba(tmhd)2. Sprawdzano wpływ temperatury parowania w/w związku metaloorganicznego na jakość otrzymanych warstw BaO. Dodatek do Ba(tmhd)2 etanolu lub dichlorometanu (CH2C12) znacznie poprawił wydajność parowania tego związku. Otrzymane warstwy zostały zbadane za pomocą skaningowego mikroskopu elektronowego z mikroanalizatorem rentgenowskimten oraz aparatu rentgenowskiego.

EN

Amorphous barium oxide layers on quartz glass substrate were synthesized by MOCVD (Metal Organic Chemical Vapour Deposition) method using metalorganic compounds of barium. The influence of the evaporation temperature was investigated. Interaction with ethyl alcohol or dichloromethne improved evaporation of Ba(tmhd)2. Obtained layers were tested by scanning electron microscope, EDS, X-ray apparatus

Słowa kluczowe

PL

tlenek baru BaO; synteza warstw BaO; związki metaloorganiczne; metoda MOCVD

EN

barium oxide; mataloorganic compounds; MOCVD method; synthesis of BaO layers

• Czasopismo: Inżynieria Materiałowa
• Rocznik: 2006
• Tom: Vol. 27, nr 5
• Strony: 855-857
• Opis fizyczny: Bibliogr. 7 poz., rys.tab

Twórcy

autor

Andreasik, P.

autor

Kwatera, A.

autor

Sawka, A.

autor

Juda, W.

• Andreasik, P - Wydział Inżynierii Materiałowej i Ceramiki, Katerda Ceramiki Specjalnej, Akademia Górniczo-Hutnicza w Krakowie

Bibliografia

• [1] Wessels B.W., "Ferroelectric oxide epitaxial thin films: synthesis and non-linear optical properties", Journal of Crystal Growth 195(1998), 706-710.
• [2] Kielski A. "Ogólna technologia ceramiki" skrypt uczelniany nr 152, Kraków 1969. str. 139, 142, 177.
• [3] Otway D.J., Jr Rees W.S „Group 2 element p-diketonate complex: synthetic and structural investigations." Coordination Chemistry Reviews 210(2000), 279-328.
• [4] Kwatera A., Sawka A.: "Preparation of highly transparent and uniform in thickness CVD layers of Si3N4 on dielectric substrates." Inżynieria Materiałowa, 4, 2001, 521-523.
• [5] Kwatera A.„Carbon doped a-Al2O3 films synthetised on cemented carbide tools by the metal organie LPCVD techniąue", Thin Solid Films, 200(1991), 19-32.
• [6] Otway D.J., Obi B., Rees Jr W.S.. "Precursors for chemical vapour deposition of yttrium barium copper oxide", Journal of Alloys and Compounds 251 (1997), 254-263.
• [7] Zhao J., Chern C. S., Li Y. Q., Norris P., Gallois B., Kear B., Wu X. D., Muenchausen R. E. "Compositional effects on plasma-enhanced metalorganic chemical vapor deposition of YBa2Cu3O7_x thin films", Applied Physics Letters 58(1991), 2839-2841.