Zastosowanie próżniowych pomp turbomolekularnych w procesach nanoszenia cienkich warstw

Kajoch, A.; Kątowski, P.

Ten serwis zostanie wyłączony 2025-02-11.

Nowa wersja platformy, zawierająca wyłącznie zasoby pełnotekstowe, jest już dostępna.
Przejdź na https://bibliotekanauki.pl

Artykuł - szczegóły

Czasopismo

Inżynieria Powierzchni

2005 | Nr 2 | 66-68

Tytuł artykułu

Zastosowanie próżniowych pomp turbomolekularnych w procesach nanoszenia cienkich warstw

Autorzy

Kajoch, A. , Kątowski, P.

Warianty tytułu

Application of turbopumps in thin coating processes

Konferencja

Seminarium Instytutu Mechaniki Precyzyjnej. Wytwarzanie metodami PVD nowoczesnych powłok antykorozyjnych, antyzużyciowych i dekoracyjnych (21.06.2005 ; Poznań, Polska)

Języki publikacji

Abstrakty

W artykule przedstawiono dwa najczęściej spotykane systemy pomp próżniowych stosowanych w przemysłowych i laboratoryjnych urządzeniach do nanoszenia cienkich warstw. Porównanie rozwiązań opartych na dwóch różnych typach pomp wskazuje zalety urządzeń z zastosowaniem pomp turbomolekularnych w porównaniu z dotychczas stosowanymi powszechnie pompami dyfuzyjnymi.

General overview of two main vacuum pumping systems used in industrial and laboratory thin coating processes are presented in the paper. Two solutions based on different types of high vacuum pumps are compared showing some advantages of turbopumps over commonly used oil diffusion pumps.

Słowa kluczowe

Wydawca

Czasopismo

Inżynieria Powierzchni

Rocznik

2005

Tom

Nr 2

Strony

66-68

Opis fizyczny

3 rys.

Twórcy

autor

Kajoch, A.

autor

Kątowski, P.

SOFTRADE Sp. z o.o., Poznań

Bibliografia

Typ dokumentu

Bibliografia

Identyfikatory

Identyfikator YADDA

bwmeta1.element.baztech-article-BPG4-0003-0035