Wykorzystanie stanu przejściowego jonizacji impulsowej do pomiaru wysokiej próżni

• Autorzy: Szczepaniak, L.

Warianty tytułu

EN

Using transient of pulse ionization to high vacuum measurement

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Jedną z metod pomiaru wysokiej próżni jest metoda z wykorzystaniem termoemisji elektronowej. Nowa metoda impulsowa daje możliwość redukcji desoprcji termicznej co umożliwia poprawę dokładności pomiaru. Przedstawiona metoda umożliwia dalsze skrócenie czasu pomiaru ciśnienia wysokiej próżni z użyciem jonizacji impulsowej.

EN

One of method of measurement high vacuum pressure is the ionization which uses thermonic emission. New pulse ionization method give the reduction of thermal desorption and consequently give the better accuracy. Presented method has allowed further shortening of the pressure measurement of high vacuum using a pulse ionization.

Słowa kluczowe

PL

pomiar próżni; jonizacja impulsowa; dokładność pomiaru; stany przejściowe

EN

vacuum measurement; pulse ionization; measurement accuracy; transient state

• Czasopismo: Przegląd Elektrotechniczny
• Rocznik: 2013
• Tom: R. 89, nr 4
• Strony: 299-301
• Opis fizyczny: Bibliogr. 4 poz., rys.

Twórcy

autor

Szczepaniak, L.

• Politechnika Lubelska, Katedra Automatyki i Metrologii,

Bibliografia

• [1] Szczepaniak L., Sikora J., Stanowisko pomiarowe do badania próżniowych przyrządów pomiarowych z gorącą katodą w stanach statycznych i dynamicznych, Przegląd Elektrotechniczny, 84 (2008), nr 4, 270-272
• [2] Szczepaniak L., Pomiar ciśnienia wysokiej próżni z wykorzystaniem impulsowej jonizacji gazu strumieniem elektronów, Przegląd Elektrotechniczny, 85 (2009), nr 4,178-181
• [3] Watanabe F., Bent belt-beam gauge: Extending lowpressure measurement limits in a hot-cathode ionization vacuum gauge by combining multiple methods, Journal of Vacuum Science and Technology A, 28 (2010), No. 486
• [4] Sikora J., Dual application of a biasing system to an electron source with a hot cathode, Measure Science Technology Measure Science Technology, 15 (2004), N10-N14