Jak powstają te maleństwa?

Nowa wersja platformy, zawierająca wyłącznie zasoby pełnotekstowe, jest już dostępna.
Przejdź na https://bibliotekanauki.pl

Czasopismo

Nowa Elektrotechnika

2008 | nr 5 (45) | 1--4

Tytuł artykułu

Autorzy

Sulima, R.

Warianty tytułu

Języki publikacji

Abstrakty

Słowa kluczowe

miniaturyzacja mikroelektronika fotolitografia nanolitografia elektronolitografia rentgenolitografia litografia

miniaturization microelectronics photolithography nanolithography electron-beam lithography X-ray lithography lithography

Wydawca

Czasopismo

Nowa Elektrotechnika

Rocznik

2008

Tom

nr 5 (45)

Strony

1--4

Opis fizyczny

rys.

Twórcy

autor

Sulima, R.

Bibliografia

Typ dokumentu

Bibliografia

Identyfikatory

Identyfikator YADDA

bwmeta1.element.baztech-190f5279-ee28-4c6c-9b1e-229710f8db60