Synteza kompozytowych warstw Al2O3 - C/Al2O3 metodą MOCVD

• Autorzy: Sawka, A. , Kwatera, A.

Warianty tytułu

EN

Synthesis of Al2O3 - C/Al2O3 layers by the MOCVD method

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Warstwy Al2O3–C/Al2O3 syntezowano metodą MOCVD (ang. Metal Organic Chemical Vapour Deposition) z acetyloacetonianu glinu w zakresie temperatur 700‒1050 °C na podłożach ze szkła kwarcowego. Warstwy syntezowano w dwóch etapach. Pierwszy etap obejmował syntezę cienkich warstw Al2O3–C o grubości ok. 0,07 µm. Gazem nośnym był argon. W drugim etapie, do reaktora CVD wprowadzano powietrze, by umożliwić syntezę warstwy Al2O3 bez węgla na warstwie Al2O3 zawierającej węgiel. Warstwa nie zawierająca węgla była znacznie grubsza (ok. 4 µm) niż zawierająca węgiel. Część warstw kompozytowych syntezowanych w 800 °C wygrzewano w atmosferze argonu lub powietrza w zakresie temperatur 900‒1050 °C. Na wybranych próbkach wykonano badania SEM i XRD.

EN

Al2O3-C/Al2O3 layers were synthesized on quartz glass substrates by the MOCVD method at temperatures of 700‒1050 oC, using aluminium acetyloacetonate as a precursor. The layers were deposited at two stages. First stage comprised the synthesis of a thin Al2O3-C layer of 0.07 µm in thickness. Argon was used as a carrier gas. Next stage covered deposition of Al2O3 without carbon. The process was running in air and argon. The Al2O3 layer with no carbon was significantly thicker (about 4 µm) than the layer with carbon. The part of the obtained layers was additionally annealed in the temperature range of 900‒1050 °C. Selected samples were tested by SEM and XRD.

Słowa kluczowe

PL

metoda MOCVD; warstwa Al2O3

EN

MOCVD; Al2O3 layers

• Czasopismo: Materiały Ceramiczne
• Rocznik: 2013
• Tom: T. 65, nr 2
• Strony: 198--203
• Opis fizyczny: Bibliogr. 3 poz.

Twórcy

autor

Sawka, A.

• AGH Akademia Górniczo-Hutnicza, Wydział Inżynierii Materiałowej i Ceramiki, KCiMO, al. A. Mickiewicza 30, 30-059 Kraków,

autor

Kwatera, A.

• AGH Akademia Górniczo-Hutnicza, Wydział Inżynierii Materiałowej i Ceramiki, KCiMO, al. A. Mickiewicza 30, 30-059 Kraków

Bibliografia

• [1] Lindulf, N., Halversson, M., Norden, H., Vourinen, S.: Microstructural investigation of kappa-Al2O3→alfa-Al2O3 transformation in multilayer coatings of chemically vapour deposition kappa-Al2O3, Thin Solid Films, 253,(1994), 311.
• [2] Sawka. A., Kwatera. A.: Synteza warstw Al2O3-C metodą MOCVD, Materiały Ceramiczne, 65, 2, (2013), .
• [3] Kwatera, A.: Narzędzia skrawające o podwyższonej żywotności z węglików spiekanych pokrywanych warstwami ceramicznymi. Problemy Eksploatacji. Zeszyty Naukowe Instytutu Technologii Eksploatacji w Radomiu, 5, (1995), 149.