Spectroscopic study of reactive sputtering of titanium in the linear magnetron

Ten serwis zostanie wyłączony 2025-02-11.

Nowa wersja platformy, zawierająca wyłącznie zasoby pełnotekstowe, jest już dostępna.
Przejdź na https://bibliotekanauki.pl

Czasopismo

Acta Agrophysica

2002 | 80 |

Tytuł artykułu

Autorzy

Kulakowska-Pawlak B. , Sobejko D.

Treść / Zawartość

Pełne teksty:

Warianty tytułu

Języki publikacji

Abstrakty

Słowa kluczowe

linear magnetron sputtering poisonin emission spectroscopy titanium

Wydawca

Czasopismo

Acta Agrophysica

Rocznik

2002

Tom

Opis fizyczny

p.17-23,fig.,ref.

Twórcy

autor

Kulakowska-Pawlak B.

Wroclaw University of Technology, Wybrzeze Wyspianskiego 27, 50-370 Wroclaw, Poland

autor

Sobejko D.

Bibliografia

Typ dokumentu

Bibliografia

Identyfikatory

Identyfikator YADDA

bwmeta1.element.agro-article-f5ef333a-54f4-45d7-867c-051af883b2db