PL
 |
EN
Preferencje help
Polish version English version Język
Widoczny [Schowaj] Abstrakt
Liczba wyników

Znaleziono wyników: 1

Liczba wyników na stronie
first rewind previous Strona / 1 next fast forward last
Wyniki wyszukiwania
Wyszukiwano:
w słowach kluczowych:  wyładowanie jonowe
help Sortuj według:

help Ogranicz wyniki do:
first rewind previous Strona / 1 next fast forward last
1
Metoda kontroli stanu plazmy podczas megnetronowego wyładowania jarzeniowego
Stec A.
Prace Naukowe Politechniki Warszawskiej. Elektronika
|
2005
|
z. 153
67-74
EN
The paper presents some aspects of reactive sputtering. most popular control methods are described. Current-voltage relation and modelling dynamics of reactive sputtering are presented. Block diagram of a feedback system for process control is proposed.
first rewind previous Strona / 1 next fast forward last
JavaScript jest wyłączony w Twojej przeglądarce internetowej. Włącz go, a następnie odśwież stronę, aby móc w pełni z niej korzystać.