PL
 |
EN
Ograniczanie wyników
Czasopisma help
  1. 26 Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
  2. 7 Przegląd Elektrotechniczny
  3. 5 Materials Science Poland
  4. 5 Przegląd Telekomunikacyjny + Wiadomości Telekomunikacyjne
  5. 2 Bulletin of the Polish Academy of Sciences. Technical Sciences
Więcej...
Autorzy help
  1. 15 Malecha K.
  2. 14 Golonka L.
  3. 13 Jurków D.
  4. 5 Dziedzic A.
  5. 5 Golonka L. J.
Więcej...
Lata help
  1. 1 2022
  2. 1 2021
  3. 4 2020
  4. 1 2019
  5. 1 2018
Więcej...
Preferencje help
Polish version English version Język
Widoczny [Schowaj] Abstrakt
Liczba wyników

Znaleziono wyników: 56

Liczba wyników na stronie
first rewind previous Strona / 3 next fast forward last
Wyniki wyszukiwania
Wyszukiwano:
w słowach kluczowych:  LTCC
help Sortuj według:

help Ogranicz wyniki do:
first rewind previous Strona / 3 next fast forward last
1
Content available remote Bonding methods of ceramic materials with deposited carbon layers
Matusiak Tomasz, Kaszczyszyn Jakub, Dąbrowski Arkadiusz
Przegląd Elektrotechniczny
|
2022
|
R. 98, nr 1
55--58
EN
In this paper, we present a proposed bonding technology of ceramic materials. It could be applied for manufacturing the excitation source for detection of elements by means of Optical Emission Spectroscopy (OES) method. The biggest challenge was choice of proper bonding technology for materials with screen printed carbon layers as an excitation electrodes. It was caused by a need to avoid a deterioration of electrical properties of the carbon layer during the bonding process. The bonding at low temperature with various glaze layers was verified with addition of noble elements and plasma modification. The results were promising, without any significant destruction of carbon layers.
PL
W tym artykule przedstawiamy proponowaną technologię łączenia materiałów ceramicznych która może być zastosowana przy wytwarzaniu źródła wzbudzenia do detekcji pierwiastków w metodzie optycznej spektroskopii emisyjnej. Wybór odpowiedniej technologii łączenia materiału z warstwami węglowymi wytwarzanymi metodą sitodruku był wyzwaniem z powodu konieczności uniknięcia degradacji właściwości elektrycznych węgla podczas procesu łączenia. Zweryfikowano łączenie w niskiej temperaturze z różnymi warstwami szkliwa z dodatkiem pierwiastków szlachetnych i modyfikacją plazmową. Wyniki były obiecujące, bez znacznego zniszczenia warstw węglowych.
2
Content available remote MOX based E- nose for non-invasive biomedical applications
Joarder Md Saeed Hasan, Kulhari Lokesh, Ahmad Badrul Hisham Bin, Ray Kanad
Przegląd Elektrotechniczny
|
2021
|
R. 97, nr 3
119--122
EN
The non-invasive method to diagnosis any disease is an attractive topic of research due to its rapid, cost effective, convenient and efficient technique. The Health status of a patient can be directly known by examined of volatile organic compound (VOC) of a patient, and this VOC can be studied by an electronic nose (e-nose). E- Nose can be easily detect different types of diseases such as lung cancer, diabetics, by analyzing the exhaled breath of a patient. In the proposed work, a brief overview has been provided about different techniques used to develop the E-nose. The importance of Low temperature co-fired ceramics (LTCC) based breath analyzer and future objectives has discussed.
PL
EW artykule przedstawiono koncepcję wykorzystania analizatora zapachów tzw. E-nosa do wykrywania chorób na podstaiw badania wydychanego powietrza. Przedstawiono różne techniki analizy. Szczególną uwagę poświecono czujnikowi typu LTCC.
3
Content available remote Ka-band antennas simulation for LTCC antenna-on-chip solution
Moiseev Mikhail V.
Przegląd Elektrotechniczny
|
2020
|
R. 96, nr 11
132--134
EN
Different Ka-band antenna designs optimized for LTCC technology were studied. With the help of finite element method spiral, patch and horn antennas were simulated. Calculated VSWR, radiation pattern cross section and axial ratio for described designs are presented. It was shown that the most suitable LTCC design for antenna array in Ka-band is horn antenna.
PL
Analizowano różne anteny dla pasma K i technologii LTCC. Stosując metodę elementów skończonych analizowano trzy różne kształty anteny. Stwierdzono że najlepsze parametry ma antena ftpu horm (róg).
4
Content available remote Impact of firing temperature on insulating properties of Low Temperature Co-fired Ceramics
Dabrowski Arkadiusz P.
Materials Science Poland
|
2020
|
Vol. 38, No. 1
189--196
EN
In this paper, results of investigation on the impact of firing temperature on insulating properties of Low Temperature Cofired Ceramics are presented. Dissipation factor, volume resistivity and breakdown electric field intensity were determined for firing peak temperature in the range from 800 °C to 900 °C. The tests were performed for two commercial LTCC materials: 951 Green Tape (DuPont, USA) and SK47 (Keko, Slovenia). The results showed that the firing temperature had a significant effect on the dielectric loss factor, volume resistivity and lifetime at applied high voltage. No clear tendency was observed for dielectric strength in the analyzed firing temperature range.
5
Content available Review of LTCC Technology for Millimeter Waves and Photonics
Lahti Markku, Kautio Kari, Karppinen Mikko, Keränen Kimmo, Ollila Jyrki, Karioja Pentti
International Journal of Electronics and Telecommunications
|
2020
|
Vol. 66, No. 2
361--367
EN
VTT Technical Research Centre of Finland Ltd. has developed and utilized Low Temperature Co-fired Ceramic (LTCC) technology for about 25 years. This paper presents our activities related to photonics and millimetre-waves, including also a relevant literature survey. First a short summary of the technology is given. Especially, the unique features of LTCC technology are described in more details. In addition, several examples have been given to show the validity of LTCC technology in these high-performance fields.
6
Content available Design of Millimeter-Wave Six-Port Device for LTCC Technology
Słojewska Barbara, Yashchyshyn Yevhen
International Journal of Electronics and Telecommunications
|
2020
|
Vol. 66, No. 1
37--43
EN
In this paper a design of millimeter-wave six-port device for LTCC (Low Temperature Cofired Ceramic) technology is presented. Furthermore, problems with implementation of the project taking into account requirements of LTCC technology are discussed.
7
Opracowanie sześciowrotnika w technologii LTCC na fale milimetrowe
Słojewska Barbara, Yashchyshyn Yevhen
Przegląd Telekomunikacyjny + Wiadomości Telekomunikacyjne
|
2019
|
nr 6
433-436, CD
PL
W artykule przedstawiono projekt sześciowrotnika na fale milimetrowe przygotowanego do realizacji w procesie technologicznym niskotemperaturowego współwypalania ceramiki (ang. Low Temperature Cofired Ceramic, LTCC). Omówiono także problemy związane z przygotowaniem projektu, uwzględniając wymagania i ograniczenia technologii LTCC.
EN
In this paper a design of millimetre-wave six-port device for LTCC (Low Temperature Cofired Ceramic) technology is presented. Furthermore, problems with implementation of the project taking into account requirements of LTCC technology are discussed.
8
Content available Wybrane aspekty wytwarzania elementów mikrofalowych w układach ceramicznych LTCC
Jasińska L., Malecha K.
Maszyny Elektryczne : zeszyty problemowe
|
2018
|
Nr 2 (118)
199--203
PL
Artykuł prezentuje aspekty techniczne, które są istotne podczas wykonywania oraz projektowania zintegrowanych układów mikroprzepływowo-mikrofalowych. Zastosowanie techniki mikrofalowej w układach mikroprzepływowych otwiera nowe możliwości, które stanowią rozwiązanie części problemów występujących w układach mikroprzepływowych, takich jak wykorzystanie i dostarczanie energii cieplnej. Ponadto, mikrofale stanowią atrakcyjną alternatywę dla spotykanych obecnie metod charakteryzacji parametrów substancji umieszczonych w kanale mikroukładu. W związku z tym, przedstawiono typowe obszary zastosowań techniki mikrofalowej w modułach mikroprzepływowych. Opisano typowe podłoża, które są stosowane podczas wytwarzania wspomnianych układów, wraz z wyszczególnieniem ich cech charakterystycznych i porównaniem. Wskazano na korzyści płynące z zastosowania ceramiki LTCC (ang. Low temperature cofired ceramics, niskotemperaturowa ceramika współwypalana), jako materiału podłożowego pod układy mikroprzepływowo-mikrofalowe. Wyszczególniono możliwe do wykonania techniką LTCC typy prowadnic falowych wraz z odpowiednim położeniem mikrokanału w ceramicznym podłożu oraz dokonano krótkiego podsumowania.
XX
This paper descries aspects, which are significant during the process of designing and developing of integrated microfluidic-microwave modules. The application of microwaves in microfluidic modules ensures the new possibilities, such as a providing a heat to the selected parts of a microsystem. Furthermore, the microwaves are the alternative solution of characterization of parameters the substance in the microchannel. Therefore, the usual fields of microwave technique in microfluidic modules are presented. The most used substrates in mentioned devices are described and compared. The benefits of using the LTCC as the substrate of microfluidic-microwave devices are indicated. Furthermore, the most common used wave guides integrated with the geometry of microchannels in LTCC modules are presented.
9
Content available Możliwości zastosowania niskotemperaturowej współwypalanej ceramiki w przemyśle wydobywczym
Jasińska L., Malecha K.
Zeszyty Naukowe Uczelni Jana Wyżykowskiego. Studia z Nauk Technicznych
|
2017
|
Nr 6
97--102
PL
W artykule opisano technologię LTCC (niskotemperaturowa współwypalana ceramika, ang. Low Temperature Co-fired Ceramic) pod względem możliwości jej wykorzystania w przemyśle górniczym. Wskazano unikalne cechy technologii LTCC, które są istotne w przypadku wytwarzania układów elektronicznych przeznaczonych do pracy w trudnych warunkach środowiskowych, takich jak podwyższona temperatura, ciśnienie oraz wilgotność. Opisano przykładowe rozwiązania bazujące na technice LTCC obecne w literaturze przedmiotu, wskazujące na możliwość ich zastosowania w przemyśle wydobywczym.
EN
This article presents LTCC (Low Temperature Co-Fired Ceramic) in terms of using ceramic substrates as base of electronic devices in the mining industry. Technological attributes of substrate material are significant aspects of the perspective of choosing type of electronic systems in harsh environment (such as elevated temperatures, pressures and humidity). Technological process of manufacturing LTCC multilayer was described. Examples of LTCC-based solutions are presented, with particular emphasis on wireless sensor system tested in coalmine.
10
Badanie anteny z falą wyciekającą wykonanej w technologii LTCC pracującej w zakresie 125 GHz - 135 GHz
Piasecki P., Yashchyshyn Y.
Przegląd Telekomunikacyjny + Wiadomości Telekomunikacyjne
|
2017
|
nr 6
267--270, CD
PL
W artykule przedstawiono wyniki pomiarów charakterystyk promieniowania anteny z falą wyciekającą zrealizowanej w technologii LTCC, pracującej w zakresie częstotliwości 125 GHz – 135 GHz. Pomiary anteny zostały przeprowadzone z wykorzystaniem stworzonego specjalnie do tego celu stanowiska pomiarowego anten w zakresie fal milimetrowych. Wyniki pomiarów charakterystyk promieniowania pokazują dużą zgodność z założeniami symulacyjnymi biorąc pod uwagę brak wykonania odpowiedniego przejścia z falowodu WR-8 do struktury promieniującej.
EN
The paper presents measurement results of a radiation pattern of a leaky wave LTCC antenna operated in the frequency range of 125 GHz – 135 GHz . The measurements were caried out with using a special measurement setup, which was prepared just for these measurements. Measurement results show quite nice agreement with simulation results, even though the antenna has not appriopriate transition between WR-8 waveguide and the antenna radiation structure.
11
Antena łatkowa na pasmo 120 GHz w bezskurczowej technologii LTCC
Sobolewski J., Synkiewicz B., Bajurko P. R.
Przegląd Telekomunikacyjny + Wiadomości Telekomunikacyjne
|
2017
|
nr 6
271--274, CD
PL
W artykule przedstawiono aspekty technologiczne związane z wytwarzaniem struktur antenowych na pasmo subterahercowe w technologii LTCC. Zaprezentowano projekt mikropaskowej anteny łatkowej na podłożu LTCC z folii bezskurczowej uwzględniający ujawnione ograniczenia procesu wytwarzania.
EN
This paper presents manufacturing issues of subterahertz antenna structures in LTCC technology. Furthermore, microstrip patch antenna design on “zero - shrinkage” LTCC substrate considering fabrication process limitations is presented.
12
Zastosowanie technologii LTCC w wytwarzaniu podłoży do układów mikrofalowych
Synkiewicz B., Szwagierczak D., Grzesiak W., Ratajczak J., Kulawik J., Yashchyshyn Y., Bajurko P.
Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
|
2017
|
Vol. 58, nr 9
21--24
PL
Celem pracy było porównanie komercyjnie dostępnych oraz opracowanych nowych folii szklano-ceramicznych pod kątem predyspozycji do zastosowań w elektronice mikrofalowej. Wytworzone technologią LTCC porowate oraz lite kompozyty LTCC bazujące na ceramice Al2O3 lub kordierycie zostały poddane analizie SEM z EDS, która ujawniła ich niejednolitą strukturę wewnętrzną. Przeprowadzono pomiary przenikalności elektrycznej w wysokiej częstotliwości dla opracowanych i komercyjnych folii. Porównanie parametrów opracowanych folii z dostępnymi komercyjnie materiałami (DuPont 9k7, DuPont 951-GT, ESL 41110-T) pozwoliło wytypować folię LTCC, charakteryzującą się niską przenikalnością elektryczną oraz wysoką wytrzymałością mechaniczną (ESL 41110-T). Artykuł przedstawia również wyniki badań mających na celu optymalizację procesu technologicznego w kierunku jak najwyższej jakości układów przeznaczonych do pracy w wysokich częstotliwościach.
EN
The aim of the study was the comparison of the commercially available and experimentally developed green tapes suitable for LTCC technology at the angle of their predispositions for microwave applications. The analysis using SEM and EDS method of the developed porous and nonporous composites based on Al2O3 ceramic (or alternatively cordierite) revealed their irregular microstructure and channel-shaped porosity. The measurements of dielectric permittivity at high frequencies were performed for both the commercial and the fabricated dielectric tapes. Comparison of the developed tapes and commercial materials (DuPont 9k7, DuPont 951-GT, ESL 41110- T) led to the choice of a LTCC system (ESL 41110-T) with low dielectric permittivity, high mechanical strength, and regular smooth surface. The paper presents also the results of studies aimed at optimization of technological process in order to achieve the highest quality of circuits destined for work at high frequencies.
13
Integracja obwodu mikrofalowego z mikroprzepływowym układem wykonanym w technologii LTCC
Jasińska L., Macioszczyk J., Malecha K., Słobodzian P.
Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
|
2017
|
Vol. 58, nr 10
3--6
PL
W artykule przedstawiono moduł mikroprzepływowo-mikrofalowy wykonany techniką LTCC (Low Temperature Co-Fired Ceramics). Opisano proces projektowania, wykonania i charakteryzacji parametrów mikrofalowych wspomnianego modułu. Projekt wykonano na podstawie wyników symulacji numerycznych metodą elementów skończonych (FEM, Finite Elements Method) zaimplementowaną w oprogramowaniu ANSYS-HFSS. Wyniki modelowania zostały zweryfikowane poprzez pomiary parametrów mikrofalowych (macierzy rozproszenia S) rzeczywistego modułu.
EN
In this paper a microfluidic-microwave module made in LTCC (Low Temperature Co-Fired Ceramics) technology was presented. The process of design, construction and characterization microwave parameters of mentioned device was described. The project was made on the basis of results of Finite Elements Method (FEM) simulation, implemented in ANSYS-HFSS Software. Modeling results were verified through microwave parameters (scattering matrix) measurements of actual microfluidic-microwave device.
14
Promiennik łatkowy na podłożu LTCC na pasmo 120 GHz
Sobolewski J., Bajurko P. R.
Przegląd Telekomunikacyjny + Wiadomości Telekomunikacyjne
|
2016
|
nr 6
273—276, CD
PL
W artykule zaprezentowano projekt planarnej mikropaskowej anteny łatkowej na podłożu LTCC pracującej na częstotliwości 120GHz, przystosowanej do zasilania sondą typu GSG.
EN
This paper presents a 120GHz planar microstrip patch antenna on LTCC substarate suitable for GSG probe feed.
15
Projekt anteny paskowej na pasmo sub-terahercowe przeznaczonej do realizacji w technologii LTCC
Włodarczyk P., Yashchyshyn Y.
Przegląd Telekomunikacyjny + Wiadomości Telekomunikacyjne
|
2016
|
nr 6
277—280, CD
PL
W artykule przedstawiono projekt anteny przeznaczonej do realizacji w technologii LTCC. Częstotliwość pracy znajduje się w pasmie sub-terahercowym od 126 GHz do 134 GHz. Projekt anteny, symulacje charakterystyk i optymalizacje konstrukcji przeprowadzono z użyciem symulatora elektromagnetycznego FEKO. Do obliczeń wykorzystano metodę momentów MoM. Antena ma strukturę warstwową. Zasilana jest z wykorzystaniem linii koplanarnej, która pozwoli na zbadanie charakterystyk rzeczywistej anteny poprzez dołączenie sondy pomiarowej.
EN
This article describes antenna design destined to construct in LTCC technology. Frequency centre is placed in sub-terahertz bandwidth, between 126 GHz and 134GHz. Antenna project, parameters simulations and construction optimisation were done in electromagnetic simulator FEKO. Calculations were performed with Method of Moments MoM. Antenna has a layer structure. Coplanar line was used to feed it, because of possibility to perform measurements antenna characteristics with a probe.
16
Content available The Investigation of Conductive Via Properties
Jurków D., Dorczyński M., Golonka L.
Metrology and Measurement Systems
|
2015
|
Vol. 22, nr 1
39-50
EN
The investigation ofthe Low Temperature Co-fired Ceramic (L TCC) via filling process quality is presented in this paper. The goal of this paper was to propose and to validate a way of the verification whether the L TCC fabrication was conducted correctly. The work presents an application of the Design of the Experiment (DoE) methodology in such validation and discusses usefulness and drawbacks of the chosen solution. The optimized technology of via filling will be applied in the fabrication of tactile displays for blind people.
17
Content available Construction Of A Piezoelectric-Based Resonance Ceramic Pressure Sensor Designed For High-Temperature Applications
Belavič D., Bradeško A., Santo Zarnik M., Rojac T.
Metrology and Measurement Systems
|
2015
|
Vol. 22, nr 3
331--340
EN
In this work the design aspects of a piezoelectric-based resonance ceramic pressure sensor made using low-temperature co-fired ceramic (LTCC) technology and designed for high-temperature applications is presented. The basic pressure-sensor structure consists of a circular, edge-clamped, deformable diaphragm that is bonded to a ring, which is part of the rigid ceramic structure. The resonance pressure sensor has an additional element – a piezoelectric actuator – for stimulating oscillation of the diaphragm in the resonance-frequency mode. The natural resonance frequency is dependent on the diaphragm construction (i.e., its materials and geometry) and on the actuator. This resonance frequency then changes due to the static deflection of the diaphragm caused by the applied pressure. The frequency shift is used as the output signal of the piezoelectric resonance pressure sensor and makes it possible to measure the static pressure. The characteristics of the pressure sensor also depend on the temperature, i.e., the temperature affects both the ceramic structure (its material and geometry) and the properties of the actuator. This work is focused on the ceramic structure, while the actuator will be investigated later.
18
Content available remote Impact of processing parameters on the LTCC channels geometry
Macioszczyk J., Malecha K., Stafiniak A., Golonka L. J.
Materials Science Poland
|
2015
|
Vol. 33, No. 4
816--825
EN
A great advantage of Low Temperature Co-fired Ceramics (LTCC) yields the possibility of channel and air cavity fabrication. Such empty spaces have numerous applications, for example, in microfluidics, microwave techniques and integrated packaging. However, improper geometry of these structures can degrade the performance of the final device. The processing parameters recommended by the LTCC tape supplier are relevant for the production of multilayer circuits but not surface embedded channels and/or cavities. Thus, it is important to examine which factors of the fabrication process are the most significant. In our study, special attention has been paid to the geometric performance of the channel structure resulting from the applied processing parameters. Laser cutting parameters were checked to obtain the structures with great fidelity. The impact of an isostatic lamination on the quality of the final structure was analyzed. The influence of pressure and temperature of the lamination process on the channel geometry and tape shrinkage were examined. The performed experiments showed that some improvements in channel/cavity geometry may be achieved by optimizing the processing procedures. The microscopic observations combined with the Analysis of Variance (ANOVA) showed which combinations of the processing parameters are the best for achieving a channel/cavity structure with the desired geometry.
19
Characterization of LTCC-based electromagnetic microgenerators
Gierczak M., Walasek P., Markowski P.
Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
|
2015
|
Vol. 56, nr 3
31-33
EN
In this paper we present the system for characterization the electromagnetic microgenerators fabricated in Low Temperature Co-fired Ceramics (LTCC) technology as well as fabrication and electrical properties of such microgenerators. Electromagnetic microgenerators include planar multilayer multipole coils, and a multipole permanent magnet. In our experiment the coils with 6, 8,10 and 12 layers and outer diameter of 50 mm were designed and fabricated. To create alternating magnetic field a 28-pole permanent magnet secured on rotor three-phase Brushless Direct Current (BLDC) motor was used. System for control and drive of such type of motor was realized with Atmega microcontroller, which was necessary to generate PWM (Pulse Width Modulation) signal for motor phase commutating. System was working in three modes. First of them was sensorless work called BEMF (Back ElectroMotive Force). In the second mode the delay time between commutation and motor current was set manually. Such solution was chosen to smooth the motor work at low rotary speed. In the third mode both the delay time as well as the value of current were declared in microcontroller program as constant. The rotor rotary speed was measured with a self-made tachometer consisting of Atmega microcontroller and transoptor for motion sensing. The system was used for characterization of self-made LTCC-based electromagnetic microgenerators. The induced voltage of structure with 12-layer coils was 2.47 V (open circuit measurement). Generator provided 1.99 mA of constant current (short circuit) at maximum rotary speed of about 11990 rpm. A Graetz rectifying bridge and a proper smoothing capacitor were used to convert AC output signal to DC one.
PL
W artykule przedstawiono system do charakteryzacji makrogeneratorów elektromagnetycznych wykonanych w technologii LTCC (Low Temperature Co-fired Ceramics) oraz proces wytwarzania i właściwości takich mikrogeneratorów. Mikrogeneratory elektromagnetyczne zawierają planarne, przestrzenne, wielowarstwowe cewki oraz przestrzenne magnesy stałe. W eksperymencie zaprojektowano i wykonano cewki z 6, 8, 10 oraz 12 warstw o średnicy zewnętrznej 50 mm. Do wytworzenia zmiennego pola magnetycznego wykorzystano 28 magnesów stałych umieszczonych na rotorze trójfazowego silnika bezszczotkowego - BLDC (Brushless Direct Current). System do sterowania tego typu Silnikiem zrealizowano w oparciu o mikrokontroler ATmega, który umożliwił generowanie sygnału PWM (Pulse Width Modulation) koniecznego do komutacji faz silnika. System pracuje w trzech trybach. Pierwszy z nich umożliwiający pracę bez udziału czujnika położenia nazwano BEMF (Back ElectroMotive Force). W drugim trybie czas pomiędzy komutacjami oraz wartość prądu ustawiane są manualnie. Takie rozwiązanie umożliwiło wygładzenie pracy silnika przy niskich prędkościach obrotowych. W trzecim trybie czas pomiędzy komutacjami oraz wartość prądu zostały przypisane na stałe w pamięci mikrokontrolera. Pomiar prędkości obrotowej silnika zrealizowano w oparciu o prędkościomierz zbudowany również w oparciu o mikrokontroler ATmega oraz transoptor. System pomiarowy został użyty do charakteryzacji mikrogeneratorów elektromagnetycznych opartych na technologii LTCC. Indukowane napięcie ze struktury 12-warstwowej wynosi 2,47 V (pomiar w obwodzie otwartym). Generowany prąd stały (zamknięty obwód) przy maksymalnej prędkości obrotowej ok. 11990 rpm to 1,99 mA. Sygnał zmienny zamieniono na stały poprzez użycie mostka Graetza oraz kondensatora wygładzającego.
20
Content available remote Miniature plasma generator made of low temperature co-fired ceramics (LTCC) for gas characterization using optical emission spectroscopy (OES)
Malecha K., Roguszczak H., Patela S., Golonka L.J.
Przegląd Elektrotechniczny
|
2014
|
R. 90, nr 9
69-72
EN
A novel miniature plasma generator made of low temperature co-fired ceramics (LTCC) is presented in this paper. The developed generator is composed of a stack of 9 ceramic tapes, has an optical fibre integrated into the structure and is consisted of an 8.7 x 3.5 mm2 plasma chamber placed between two 5 x 5 mm2 electrodes made of AgPd. Each electrode is separated from the plasma chamber by a single LTCC tape, forming a 660 μm thick gap. The shape of the plasma chamber and the channel for the optical fibre were cut in green LTCC tapes using an UV laser, and the electrodes were fabricated with the standard screen-print method. During the experiments, the plasma chamber was filled with an ambient air. The plasma was generated between AgPd electrodes connected to an AC power supply. The light of the air plasma was transmitted from the plasma chamber to the miniature spectrometer using the integrated optical fibre. The glow discharge in the air at atmospheric pressure was characterized by optical emission spectroscopy (OES).
PL
W artykule przedstawiono technologię miniaturowego generatora plazmy. Wspomniany układ został wykonany za pomocą techniki bazującej na niskotemperaturowej współwypalanej ceramice LTCC (Low Temperature Co-fired Ceramics). Urządzenie składało się z 9 warstw ceramiki LTCC. W skład opracowanego generatora wchodziły komora plazmowa o wymiarach 8,7 x 3,5 mm2 oraz dołączony do niej światłowód kwarcowy. Komora plazmowa umieszczona była pomiędzy dwiema elektrodami o wymiarach 5 x 5 mm2 wykonanymi ze stopu PdAg. Każda z elektrod została odizolowana od komory plazmowej za pomocą pojedynczej warstwy LTCC tworząc szczelinę o grubości 660 μm. Kształt komory plazmowej oraz kanału pod światłowód zostały wycięte w surowych foliach ceramicznych za pomocą lasera UV. Elektrody PdAg zostały naniesione na ceramikę LTCC metodą sitodruku. Podczas eksperymentów komora plazmowa wypełniona była powietrzem z otoczenia o ciśnieniu atmosferycznym. Plazma powietrza generowana była pomiędzy dwiema izolowanymi elektrodami zasilanymi napięciem zmiennym. Promieniowanie optyczne plazmy powietrza było transmitowane z komory plazmowej do miniaturowego spektrometru za pomocą zintegrowanego światłowodu. Obserwowane wyładowanie jarzeniowe w powietrzu analizowano metodą optycznej spektroskopii emisyjnej (OES).
first rewind previous Strona / 3 next fast forward last
JavaScript jest wyłączony w Twojej przeglądarce internetowej. Włącz go, a następnie odśwież stronę, aby móc w pełni z niej korzystać.