Preferencje help
Widoczny [Schowaj] Abstrakt
Liczba wyników

Znaleziono wyników: 6

Liczba wyników na stronie
first rewind previous Strona / 1 next fast forward last
Wyniki wyszukiwania
Wyszukiwano:
w słowach kluczowych:  EUV radiation
help Sortuj według:

help Ogranicz wyniki do:
first rewind previous Strona / 1 next fast forward last
EN
Free electron laser FELs are built in Europe mainly as nondependent infrastructures, or as a development of synchrotron ones. They are constructed mainly in centres which have considerable experience with synchrotron light sources of the third generation like DESY, Trieste, INFN, etc. Advances in very energetically efficient superconducting linear accelerators for electron beams, like TESLA type, caused an abrupt development of FEL machines all over Europe. New generation of FELs emits light beam of extreme intensity, good parameters, in IR, VIS, UV, EUV and X-ray spectral regions. The machine construction teams comprise also of young active researchers from Poland. In particular, these is a considerable participation of M.Sc. and Ph.D. students from Warsaw University of Technology at building of FLASH I, FLASH II, and EXFEL machines. Unique experiences gathered at work with these large experiments result in development of these young teams, and their further engagement in new initiatives: laser, laser - accelerator, inertial, plasma, plasma - energy, etc. This is what we observe with satisfaction. However, due to the lack of large research infrastructures in Poland, we are not members of the infrastructure owner clubs. Our young researchers may take part in the initiatives only indirectly as members of cooperative teams from the leading countries. As a further consequence, there is also a confined access of Polish laser and accelerator researchers to some kinds of European infrastructure development projects now under realization within the H2020.
PL
Lasery na swobodnych elektronach (Free Electron Lasers –FEL) powstają w Europie albo jako infrastruktury samodzielne albo jako rozwinięcie infrastruktur synchrotronowych. Na ogół jednak powstają w ośrodkach posiadających znaczne doświadczenie z synchrotronowymi źródłami światła trzeciej generacji, jak np. DESY, Trieste, INFN, itp. Postępy w budowie bardzo wydajnych energetycznie nadprzewodzących akceleratorów elektronowych, np. typu TESLA, spowodowały gwałtowny rozwój maszyn FEL, generujących wiązkę światła o wielkiej intensywności, wysokiej jakości w zakresie podczerwonym, widzialnym, UV, EUV, oraz RTG. W budowie niektórych z opisanych Europejskich infrastruktur FEL biorą aktywnie udział młodzi uczeni z Polski. Szczególnie duży udział studentów i doktorantów z WEiTI Politechniki Warszawskiej był przy budowie maszyny FEL, FLASH I, FLASH II, a ostatnio EXFEL. Doświadczenia zgromadzone w pracy przy budowie tak wielkich eksperymentów pozwalają na rozwój takich grup i angażowanie w nowe inicjatywy laserowe, laserowo akceleratorowe, inercyjne, plazmowe, plazmowo – energetyczne, itp. I tak właśnie się dzieje. Niestety ze względu na brak w kraju dużej własnej infrastruktury badawczej, nie jesteśmy członkiem klubów właścicieli, i nasi uczeni mogą brać udział w pracach takich klubów pośrednio, jako członkowie grup zagranicznych. Ograniczony jest także dostęp do niektórych rodzajów Europejskich infrastrukturalnych projektów rozwojowych.
EN
Free electron laser FELs are built in Europe mainly as nondependent infrastructures, or as a development of synchrotron ones. They are constructed mainly in centers which have considerable experience with synchrotron light sources of the third generation like DESY, Trieste, INFH, etc. Advances in very energetically efficient superconducting linear accelerators for electron beams, like TESLA type, caused an abrupt development of FEL machines all over Europe. New generation of FELs emits light beam of extreme intensity, good parameters, in IR, VIS, UV, EUV and RTG spectral regions. The machine construction teams comprise also of young active researchers from Poland. In particular, these is a considerable participation of M.Sc. and Ph.D. students from Warsaw University of Technology at building of FLASH I, FLASH II, and EXFEL machines. Unique experiences gathered at work with these large experiments result in development of these young teams, and their further engagement in new initiatives: laser, laser – accelerator, inertial, plasma, plasma – energy, etc. This is what we observe with satisfaction. However, due to the lack of large research infrastructures in Poland, we are not members of the infrastructure owner clubs. Our young researchers may take part in the initiatives only indirectly as members of cooperative teams from the leading countries. As a further consequence, there is also a confined access of Polish laser and accelerator researchers to some kinds of European infrastructure development projects now under realization within the H2020.
EN
Comparative studies of the parameters both pure helium and helium-xenon plasma have been fulfilled in a magneto-plasma compressor (MPC). The current-voltage characteristics of MPC accelerating channel and the maximum plasma velocity of (6-8) x 106 cm/s changed negligibly under local xenon injection to compression zone. Nevertheless, the xenon addition causes a growth of maximal plasma pressure up to of 2.3 MPa, an increase of plasma radiation from the compression zone. The plasma density achieved 1018 cm.
4
Content available remote Energy meter system for gas-puff laser plasma
EN
The authors demonstrate a detection system of EUV radiation pulses. The system provides energy measurements with uncertainty of 7.3% in the range of wavelengths 13.5 ą 0.5 nm (FWHM = 7.3%). The calibration of the system was taken using the E-Mon commercial meter and a laser-plasma source. The procedures made it possible to determine a calibration factor for the laser-plasma source with helium-xenon gas puff target. The factor is exploited for the purpose of standardizing measurements of EUV radiation with FWHM = 2%. A substantial improvement in the system responsivity is demonstrated.
EN
The paper presents a laboratory setup with a procedure used for measurements of detector responsivity. The responsivity is specified in the range of extreme ultraviolet radiation (wavelength of 13.5 nm). This spectrum range is an important factor determining the next step of nanolithography. The main issue of this technology is an absolute measurement of radiation energy. The constructed laser-plasma source with a metrology chamber gave opportunity to design a special calibration procedure of EUV detectors used in energy meters. The described laboratory setup is characterized by a good reliability, low costs of operation, and a short time of measurement procedures.
PL
Przedstawiono stanowisko laboratoryjne do pomiarów czułości widmowej detektorów promieniowania zakresu skrajnego nadfioletu (λ= 13,5 nm). Promieniowanie to jest szczególnie istotne, gdyż stanowi perspektywę dalszego rozwoju nanolitografii. Obecnie zasadniczym zagadnieniem tej technologii są bezwzględne pomiary energii promieniowania. Skonstruowanie w Instytucie Optoelektroniki WAT źródła laserowo-plazmowego z tarczą gazową dało możliwość przygotowania specjalnej procedury testującej. Opracowane na podstawie badań wstępnych stanowisko laboratoryjne charakteryzuje się dużą niezawodnością małymi kosztami eksploatacji oraz krótkim czasem trwania procedury pomiarowej detektorów promieniowania z zakresu skrajnego nadfioletu.
6
Content available Pomiary energii promieniowania skrajnego nadfioletu
PL
W pracy omówiono system detekcji promieniowania skrajnego nadfioletu. Umożliwia on pomiar energii impulsów promieniowania w zakresie długości fal (13,5 š 0,5) nm. Przeprowadzone analizy i badania miały na celu określenie możliwości odniesienia wyników uzyskanych w tym zakresie długości fal do pasma (13,5 š 0,13) nm. W pracy zaprezentowano wyniki pomiaru widma promieniowania emitowanego ze źródła laserowo-plazmowego z ksenonową tarczą gazową dla różnych warunków wytwarzania plazmy. Na podstawie rezultatów otrzymanych za pomocą wzorcowego przyrządu E-Mon wyznaczono wartość tzw. skalibrowanej czułości widmowej systemu, która umożliwia odniesienie wyników pomiarów do pasma (13,5 š 0,13) nm.
EN
The paper presents the IOE detection system for energy measurement of EUV radiation. The system measures energy of radiation pulses within the wavelength range of (13,5 š 0,5) nm. The described analyses and experiments determine possibilities of reference of results obtained from the system to the spectral range of (13,5 š 0,13) nm. The changes of radiation spectrum emitted from a laser-plasma source with xenon gas-puff target are presented. The results obtained from the standard E-Mon meter make it possible to determine a calibrated sensitivity of the IOE detection system within the wavelength range of (13,5 š 0,13) nm.
first rewind previous Strona / 1 next fast forward last
JavaScript jest wyłączony w Twojej przeglądarce internetowej. Włącz go, a następnie odśwież stronę, aby móc w pełni z niej korzystać.