Wyniki wyszukiwania - BazTech

Ograniczanie wyników

1 Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania

1 2012

Znaleziono wyników: 1

Liczba wyników na stronie

Wyniki wyszukiwania

Sortuj według:

Ogranicz wyniki do:

Próżniowe otrzymywanie cienkich warstw na wielkogabarytowych, szklanych podłożach. Cz. 2 Linia przemysłowa

Halarewicz J., Domanowski P., Dora J., Wawrzak A., Karwowski K., Pinio P., Wiatrowski A., Posadowski W. M.

Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania

2012

Vol. 53, nr 4

77-82

Celem badań było opracowanie prototypowej linii do przemysłowego osadzania cienkich warstw na wielkogabarytowe podłoża. Prototypowe urządzenie wykonano w wersji wsadowej (nanoszenie cienkich warstw w oddzielnych cyklach próżniowych). Opracowano konstrukcję linii wyposażonej w oryginalne układy sterowania cyklem pompowania oraz procesem rozpylania magnetronowego (magnetron planarny prostokątny}.

The aim of this study was to develop a prototype line for the industrial deposition of thin films on large-size substrate. A prototype off-line version of the device was performed (deposition of thin films in a separate vacuum cycles). Developed design a line equipped with the original controls the pumping cycle and the process of magnetron sputtering {planar, rectangular magnetron).