Investigation of hermetic sealing of selected polymers in silicon-glass microcavities has been presented. The anodic bonding method has been adapted for hermetic encapsulation of the polymer in microcavity. According to standard conditions of the anodic bonding process (temperature: 400°C, voltage: 1000 V), the main challenge was the significant reduction of temperature in order to avoid degradation of the polymer. An analysis of the influence of reduced temperature and oxygen-free atmosphere on bond quality has been done. Proper parameters of the anodic bonding process enabling good and hermetic encapsulation of the polymer in the microcavity as well as optimal polymer treatment have been elaborated. Studies have shown that the closure of high density polyethylene in microcavity by anodic bonding process at a temperature reduced to 340°C is possible. This procedure will be used for the fabrication of main elements for a new family of high radiation MEMS sensors.
Przedstawiono uniwersalny system czujnikowy współpracujący z przewodowymi i bezprzewodowymi przetwornikami wielkości fizycznych. System umożliwia pomiar, analizę oraz przesyłanie danych w czasie rzeczywistym do oddalonego komputera klasy PC z odpowiednim oprogramowaniem. Architektura omawianego tu systemu zakłada możliwość zastosowania dowolnego czujnika wielkości fizycznej przy minimalnej koniecznej modyfikacji całego systemu. Gwarantuje to szybką adaptację systemu do praktycznie dowolnej aplikacji. Autorzy prezentują dwie aplikacje systemu. Pierwszą jest „jacht mechatroniczny” do nauki żeglowania i wspomagania treningu żeglarskiego, które to rozwiązanie nie ma odpowiednika w Polsce. Podczas testów mierzono kilka kluczowych parametrów jachtu oraz zachowanie sternika. Analiza wyników pozwoliła jednoznacznie ocenić umiejętności żeglarzy. Drugą aplikacją systemu jest rozwiązanie mające na celu pomiar i analizę ruchu konia wyścigowego. Badanie takie może ujawnić rozwijająca się chorobę oraz predyspozycje danego zwierzęcia do wyścigów. Testy wstępne systemu z nowoopracowanym przetwornikiem ruchu wykazały, że możliwe jest zanotowanie subtelnych różnic ruchu pomiędzy badanymi obiektami i jednoznacznie je sklasyfikować. Cechą szczególną tego rozwiązania jest fakt, że po raz pierwszy w Polsce możliwe będzie przeprowadzenie badania zwierzęcia w warunkach naturalnych, a nie laboratoryjnych.
EN
The paper presents a universal sensor system works with wired and wireless physical quantities transducers. The system allows to measure, analyse and transmit data in real time to a remote PC computer with the appropriate software. The system architecture discussed herein involves the possibility of using any of the physical quantity sensor with a minimum necessary modification of the system. This ensures a rapid response system for any possible applications. The authors present two applications of the system. The first is the „mechatronic yacht” to learn sailing and boating training support that this solution has no counterpart in Poland. The tests measured several key parameters of the yacht and skipper behaviour. Analysis of the results allowed the unambiguous evaluation of skippers skills. Another application of the system is a solution designed to measure and analyse body motion of an racehorse. This examination may reveal a growing disease and the predisposition of the animal to the races. Initial testing of the system with newly developed motion sensor shown that it is possible to record the movement of subtle differences between the an objects and unambiguously classify them. A special feature of this solution is the fact that for the first time in Poland will be able to study the animal in the wild, not the laboratory.
3
Dostęp do pełnego tekstu na zewnętrznej witrynie WWW
Kulawizny, po zaburzeniach rozrodu oraz stanach zapalnych gruczołu mlekowego są najczęściej występującymi schorzeniami u krów mlecznych. Zła profilaktyka lub zbyt późne zdiagnozowanie stanu zdrowia zwierzęcia zwiększa straty ekonomiczne hodowcy. Powszechnie stosowana tzw. punktowa ocena chodu powinna być zastąpiona przez metodę nadającą się do automatyzacji, która pozwoli na detekcję schorzeń kończyn we wczesnym stadium. W pracy opisano system, który na podstawie sygnałów rejestrowanych przez czujniki mikromechaniczne (MEMS), umożliwi ocenę zachowania zwierzęcia oraz stan jego zdrowia.
EN
Lameness, and reproductive disorders and mastitis are the most common illnesses in dairy cows. Bad prophylaxis or late diagnosis of the animal health status of breeders increased economic losses. Commonly used method called Locomotion score needs to be replaced by a method suitable for the purpose of the automatic, remote detection of limb diseases at an early stage. This paper describes a system that on the basis of the signals recorded by the micromechanical sensors (MEMS), will assess the animal's behavior and the state of his health.
4
Dostęp do pełnego tekstu na zewnętrznej witrynie WWW
W pracy przedstawiono koncepcję miniaturowego, pasywnego, krzemowo-szklanego czujnika wysokich dawek promieniowania wysokoenergetycznego. Cechą szczególną zaproponowanej konstrukcji czujnika pasywnego jest połączenie możliwości pomiaru wysokich dawek promieniowania wysokoenergetycznego z zaletami bezpośredniego odczytu, dotychczas możliwego tylko w dozymetrach elektronicznych. Założono, że czujnik powinien mierzyć dawki promieniowania ≥ 10 kGy. Przedstawiono założenia konstrukcyjne czujnika, wyniki obliczeń oraz modelowania numerycznego.
EN
In this paper the concept of a miniature, passive, silicon-glass sensor of high dose energy radiation is presented. A special attribute of proposed construction is a combination of passive measurement capabilities of high-energy radiation with the advantages of real time monitoring till now possible only in active, electronic dosimeters. Presented sensor should measure the radiation dose ≥ 10 kGy. The paper presents the project of construction of sensor, the results of calculation and numerical modeling.
5
Dostęp do pełnego tekstu na zewnętrznej witrynie WWW
W niniejszym artykule przedstawiono mikroreaktor krzemowo-szklany oraz jego zastosowanie w reakcji selektywnego nitrowania 2- izopropoksy benzaldehydu do 2-izopropoksy-5-nitrobenzaldehydu, ważnego elementu budulcowego nitrowego katalizatora metatezy olefin typu Hoveydy-Grubbsa. Mikroreaktor wykonano technikami mikroinżynieryjnymi z krzemu i szkła, materiałów odpornych na środowisko nitrowania. Dodatkowo mikroreaktor wyposażono w miniaturowe czujniki temperatury oraz zaplanowano wykorzystanie miniaturowych, odpornych na korozję czujników ciśnienia.
EN
Herein we describe a flow-through silicon-glass microreactor and its application in selective nitration of 2-isopropoxybenzaldehyde to 2- isopropoxy-5-nitrobenzaldehyde, important building block of nitro-substituted metathesis catalyst of type Hoveyda-Grubbs. The flow-through microreactor was fabricated using microengineering techniques from silicon and glass, materials resistant to nitration environment. Microreactor is equipped with miniature temperature sensors and with resistant to corrosion pressure sensors.
W artykule przedstawiono wyniki prac nad zminiaturyzowanym urządzeniem do prowadzenia reakcji PCR w czasie rzeczywistym. Zaprezentowano konstrukcję zintegrowanego mikroreaktora PCR wykonanego z ceramiki LTCC oraz układ do detekcji sygnału fluorescencyjnego pochodzącego od powielanej próbki DNA. Wykonane próby powielania DNA E. coli potwierdziły prawidłowe działanie opracowanego przenośnego amplifikatora.
EN
In the paper the results of the works on miniaturization of the real-time PCR device are presented. Construction of the integrated LTCC amplification device and optical system for fluorescent detection of the PCR product are shown. PCR reactions carried out for Escherichia coli confirmed the proper working of the elaborated mobile device.
Zaprojektowano i wykonano rozproszony system czujnikowy na potrzeby małych jachtów treningowych do nauki żeglowania. Opisano system czujnikowy do wieloparametrycznego śledzenia pracy łodzi oraz zachowań żeglarza. System zawiera czujniki, przetworniki oraz oprogramowanie do akwizycji i przetwarzania danych. W oprogramowaniu zawarto algorytmy opisu i interpretacji szeregu parametrów fizycznych wpływających na żeglugę. Dane pomiarowe pozwolą na ocenę zachowań sternika i szybkie ich skorygowanie tak, aby proces uczenia był szybszy i bardziej efektywny.
EN
It was designed and built a distributed sensor system for small yachts for learning to sail. It was described sensors system for multi-parametric tracking of boats work and behavior of sailor. The system consists of sensors, transducers and software for data acquisition and processing. The software includes algorithms for description and interpretation of physical parameters which affect the yachting. Analysis of collected data allows estimating the behaviors of sailor and fast forward information, toward faster and more effective sailing training.
W pracy wykazano, że możliwe jest połączenie dwóch podłoży szklanych w procesie bondingu anodowego przez cienką warstwę krzemu polikrystalicznego (PSi). Metoda ta otwiera drogę do wytwarzania tanich, całkowicie szklanych chipów fluidycznych, jak również innych struktur szklanych, stosując techniki mikroinżynieryjne. Może być z powodzeniem stosowana do łączenia różnej wielkości podłoży. W pracach własnych z powodzeniem połączono 3" podłoża szklane. Opisywaną metodę łączenia podłoży szklanych przez cienką warstwę PSi zastosowano do wytworzenia chipu mikrofluidycznego przeznaczonego do elektroforezy kapilarnej. Testy niszczące połączonych struktur testowych wykazały, że siła łączenia jest większa od 40 MPa, co odpowiada połączeniu krzemu i szkła w procesie bondingu anodowego.
EN
The glass-to-glass integration method using anodic bonding technique through thin polysilicon layer (PSi) as intermediate layer has been presented. The method opens a way to fabricate chip, all glass microfluidic chips, as well as another glass structures, using microengineering technology. It can be use for integration glass wafers with different shape. 3" glass wafers has been successfully assembled. The method described in this paper, has been used for fabrication microfluidic chip dedicated to capillary electrophoresis. Breaking tests of test samples has shown bonding force higher then 40 MPa, what corresponds to bonding force of glass and silicon assembled by anodic bonding process.
Odkrycie efektu koherentnego pochłaniania światła laserowego w parach cezu CPT (Coherent Population Trapping, lata dziewięćdziesiąte ubiegłego wieku [1]) otworzyło drogę do miniaturyzacji cezowych i rubidowych zegarów atomowych. Pierwszy model miniaturowego zegara atomowego przedstawiono w NIST (National Institute of Standards and Technology, USA) w 2004 r. [2, 3], a w listopadzie 2009 r. przedstawiono prototyp takiego zegara firmy Symmetricom (USA) [4, 5]. W Europie prace technologiczne nad takim zegarem trwają od 2002 r. Naukowcy z Politechniki Wrocławskiej (Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki), UFC/FEMTO-ST we Francji, przy współpracy z firmą SAES Getters z Włoch, w latach 2004-2006 opracowali metodę wytwarzania komórek cezowych MEMS z zastosowaniem źródła cezu w postaci ciała stałego.
EN
The CPT effect scientific discovery of laser light absorption in caesium atoms (90' of last century [1]), has opened a way for miniaturization caesium and rubidium atomic clocks. First model of miniature atomic clock has been presented by NIST (National Institute of Standard and Technology, USA) at 2004. In November 2009 Symmetricom (USA) has presented prototype of such atomic clock [4, 5]. Technical works through micro atomic clock are running in Europe since 2002. Scientists form Wrocław University of Technology (Faculty of Microsystem Electronics and Photonics), UFC/FEMTO-ST in France, with SAES Getters (Italy) cooperation, in 2004-2006 has developed new method of MEMS caesium cell fabrication, where solid caesium source place grate role. The basic element of technology of MEMS caesium cell for European micro caesium clock, with usage of solid caesium source, cell dimensions about 1 cm³, stability not worse than 10⁻¹¹ s/1000 h and preliminary tests has been presented in this paper.
Przedstawiono sposób pomiaru ciśnienia i temperatury w mikroreaktorach chemicznych. Zaproponowano rozwiązanie czujników ciśnienia integrowanych on-chip bezpośrednio do mikroreaktorów krzemowo-szklanych oraz nowatorskie rozwiązanie dyskretnego, odpornego na agresywne chemikalia, czujnika ciśnienia. Oba rozwiązania charakteryzują się pomijalnie małą objętością martwą. Przedyskutowano i zaproponowano sposób pomiaru temperatury wykorzystując miniaturowe termistory perełkowe. Zaproponowane rozwiązania czujników wykorzystano do budowy tzw. "inteligenych" mikroreaktorów, w których możliwy jest pomiar ciśnienia i temperatury w mikrokanałach w wielu miejscach. Testy tych mikroreaktorów wykazały doskonałą pracę zestawu czujników i narzędzi elektroniczno-informatycznych zarządzających pracą czujników. Udowodniono, że wielopunktowy pomiar ciśnienia i temperatury pozwala na monitorowanie przebiegu reakcji w czasie rzeczywistym, jak również pozwala wykryć wszelkie zmiany w dystrybucji reagentów w mikrokanałach, tym samym wnioskować o przebiegu reakcji chemicznej. Według najlepszej wiedzy autorów, wyniki omówione w tej pracy prezentowane są po raz pierwszy i wyznaczają nowy kierunek w dziedzinie techniki mikroreakcji.
EN
The novel way of measuring pressure and temperature in microreactors are presented. On-chip integrated pressure sensors onto microreactors chip made from silicon and glass, as well as new, discrete, resistant against nitration environment pressure sensor are presented. The way of measuring temperature used of miniature pill-like temperature sensors are discussed. Proposed solutions were used in so called "intelligent" microreactors, where multipoint pressure and temperature measuring insight microchannels is possible. Tests showed perfect work of set of sensors as well as hardware and software tools. It is proved, that multipoint measuring of pressure and temperature allows to monitor the reaction course in real time, as well as see any changes of reagents flow distribution insight microchannels. According to the best author's knowledge, solutions and results discussed in this paper, are presented for the first time and determined new direction in microreaction technology.
Przedstawiono konstrukcję nowego, dyskretnego, odpornego na środowisko reakcji nitrowania, czujnika ciśnienia oraz jego zastosowanie w tak zwanej platformie sensorowej, przeznaczonej do wielopunktowego pomiaru ciśnienia i temperatury w mikroreaktorze ze szkła Foturan, podczas prowadzenia reakcji nitrowania. Testy wykazały doskonałą pracę zestawu czujników i narzędzi elektroniczno-informatycznych. Udowodniono, że wielopunktowy pomiar ciśnienia i temperatury pozwala na monitorowanie przebiegu reakcji w czasie rzeczywistym, jak również pozwala wykryć wszelkie zmiany w dystrybucji reagentów w mikrokanałach, spowodowane blokowaniem przepływu przez pęcherzyki powietrza, wytrącenia stałe lub błędy konstrukcyjne.
EN
The new, discrete, resistant against nitration environment pressure sensor and, so called, sensoric platform used for pressure and temperature multipoint measuring in Foturan ® glass microreactor for nitration process, are presented. Tests showed perfect work of set of sensors as well as hardware and software tools. It is proved, that multipoint measuring of pressure and temperature allows to monitor the reaction course in real time, as well as see any changes of reagents flow distribution insight microchannels what can be triggered off gas bubble, precipitated solids or construction/manufacturing faults.
Przedstawiono mikroreaktor szklano-krzemowy do prowadzenia reakcji nitrowania węglowodorów z równoczesnym, wielopunktowym pomiarem ciśnienia i temperatury. Krzemowe mikroczujniki zintegrowane, spojono z chipem mikroreaktora metodą bondingu anodowego tak, że zapewniono absolutną szczelność połączenia, wysoką odporność na oddziaływanie stężonych i gorących kwasów siarkowego i azotowego oraz minimalną objętość martwą zestawu czujników. Mikroreaktor wyposażono w sześć czujników ciśnienia na zakres do 600 kPa i sześć czujników temperatury (-10... +50°C). Testy wykazały doskonałą pracę systemu czujników, umożliwiającą ocenę statyczną i dynamiczną stanów hydropneumatycznych i cieplnych wewnątrz pracującego mikroreaktora. Według najlepszej wiedzy autorów, jest to pierwsze tego typu rozwiązanie spełniające wymagania dla tego typu mikroreaktorów.
EN
In this paper the silicon glass microreactor for nitration of hydrocarbons with simultaneous multipoint pressure and temperature measuring is presented. Integrated, silicon based microsensors are bonded with microreactor chip using of anodic bonding method which ensured absolute leak-proofnes, high resistance against concentrated and hot sulphuric and nitric acids, as well as minimal dead volume of set of sensors. The microreactor is equipped with six pressure (range up to 600 kPa) and six temperature sensors (-10 ... +50°C range). Tests showed perfect work of set of sensors what allows to analyze static and dynamic behaviors of pressure and temperature insight microreactor. According to the best authors' knowledge, set of sensors and electronic solution, fulfill requirements of microreactors.
13
Dostęp do pełnego tekstu na zewnętrznej witrynie WWW
In this article results of unique low temperature anodic bonding silicon and FoturanŽ glass are presented. The new method of anodic bonding can be useful in designing and fabrication of intelligent microreactors equipped with microsensors and other microdevices suitable both to control and to steer chemical process. Direct assembling onto microreactors allows to think about integrated microreactors equipped with set of sensors, i.e., pressure sensors and other devices, i.e., valves, flow meters, etc. The demand for integration microreactor with measuring /steering setup, following the technology of low temperature anodic bonding and application of this technique are described.
JavaScript jest wyłączony w Twojej przeglądarce internetowej. Włącz go, a następnie odśwież stronę, aby móc w pełni z niej korzystać.